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高解像度対応超音波センサ

国内特許コード P09A014728
整理番号 13142
掲載日 2009年10月30日
出願番号 特願2008-053239
公開番号 特開2009-210395
登録番号 特許第4953177号
出願日 平成20年3月4日(2008.3.4)
公開日 平成21年9月17日(2009.9.17)
登録日 平成24年3月23日(2012.3.23)
発明者
  • 田川 明広
  • 山下 卓哉
出願人
  • 独立行政法人日本原子力研究開発機構
発明の名称 高解像度対応超音波センサ
発明の概要

【課題】超音波受信センサとしてダイヤフラムを利用していながら、コンパクトかつ高解像度の超音波センサを提供すること。
【解決手段】1個の圧電素子からなる超音波送信センサと光ダイヤフラム構造を持つN(N>1の整数)個の、測定対象物からの反射波受信センサから成る超音波センサ要素であって、反射波によるダイヤフラムの振動を、それぞれのダイヤフラムに対応して設けられた光ファイバを介して伝送されたレーザ光によって検知するように構成された超音波センサ要素を、同一平面上にマトリクス状に配置して構成された超音波センサ。
【選択図】図1

従来技術、競合技術の概要


従来より、水中または高温の液体ナトリウム中に存在する対象物を測定するための超音波センサ装置は知られている(例えば、特許文献1及び2)。これら従来の超音波センサ装置の一例として特許文献2に記載された装置の全体構成を図2に示す。図2から容易に理解されるように、従来の超音波センサでは、超音波送信センサは圧電素子で構成され、超音波受信センサはマトリクス状に配列された複数個のダイヤフラムとそれぞれのダイヤフラム毎に設けられた光ファイバとから構成されている。反射波によって発生されるダイヤフラムの振動がそれぞれのダイヤフラムに対応して設けられた光ファイバを介して伝送されるレーザ光によって読み取られ、画像処理されることによって、対象物の形状、破壊等の状態がモニタ画面に表示される。ダイヤフラムを利用した超音波受信センサの構造については、上述の特許文献1により詳細に開示されている。

【特許文献1】特開平7-306188

【特許文献2】特開2005-175919

産業上の利用分野


本発明は、超音波送信センサとその反射波受信センサを、同一モジュールに備えているコンパクトな超音波センサ要素及びそれらを用いた高解像度対応の超音波センサに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
複数個の圧電素子からなる超音波送信センサと、それらの超音波送信センサのそれぞれの周囲に、2次元アレイ状に配列された、それぞれが光ダイヤフラムの構造を持つ256個の、測定対象物からの反射波受信センサとから成る、高温ナトリウム中で使用される超音波センサであって、
前記ダイヤフラムの両面が金(Au)で被膜されており、前記複数個の圧電素子から同時に送信された超音波の反射波による全ての前記光ダイヤフラムの振動を、それぞれの前記光ダイヤフラムに対応して設けられた光ファイバを介して伝送されたレーザ光によって検知するように構成された超音波センサ。
産業区分
  • その他通信
  • 原子力
  • 電子応用機器
  • 試験、検査
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2008053239thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
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