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非晶質状炭素膜の表面改質方法 外国出願あり

国内特許コード P100000300
整理番号 TDU-160
掲載日 2009年8月7日
出願番号 特願2009-050836
公開番号 特開2010-202466
登録番号 特許第5467452号
出願日 平成21年3月4日(2009.3.4)
公開日 平成22年9月16日(2010.9.16)
登録日 平成26年2月7日(2014.2.7)
発明者
  • 平栗 健二
  • 金杉 和弥
  • 星野 祐太
出願人
  • 学校法人東京電機大学
発明の名称 非晶質状炭素膜の表面改質方法 外国出願あり
発明の概要 【課題】シランカップリング剤を用いた表面改質の有効性を向上できる非晶質状炭素膜の表面改質方法を提供する。
【解決手段】不活性ガスを用いて非晶質状炭素膜2の表面21をエッチング処理するステップと、エッチング処理された非晶質状炭素膜2の表面21を、シランカップリング剤を用いて表面処理するステップとを含む。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要



ダイヤモンド状炭素(DLC)膜等の非晶質状炭素膜は、生体適合性や化学的安定性等の優れた特性を有する。このことから、非晶質状炭素膜を医療用デバイスの表面に形成すること等が期待されている。このとき、非晶質状炭素膜が更に高い生体適合性を得るために、カップリング剤を用いて非晶質状炭素膜の表面処理を行うことが有効である。





材料表面の耐水性や耐磨耗性、生体適合性等の特性を新たに付加する後処理手段として、シランカップリング剤が広く応用されている。このため、シランカップリング剤を用いたDLC膜の表面処理等が提案されている(例えば、特許文献1参照。)

産業上の利用分野



本発明は、非晶質状炭素膜の表面改質方法に係り、特にシランカップリング剤を用いた非晶質状炭素膜の表面改質方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
不活性ガスを用いて非晶質状炭素膜の表面をエッチング処理するステップと、
前記エッチング処理された前記非晶質状炭素膜の表面を、シランカップリング剤を用いて表面処理するステップと
を含むことを特徴とする非晶質状炭素膜の表面改質方法。

【請求項2】
前記エッチング処理がプラズマエッチング処理であることを特徴とする請求項1に記載の非晶質状炭素膜の表面改質方法。

【請求項3】
前記不活性ガスがアルゴンガスであることを特徴とする請求項1又は2に記載の非晶質状炭素膜の表面改質方法。

【請求項4】
前記エッチング処理によって前記非晶質状炭素膜の表面に未結合手を生成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の非晶質状炭素膜の表面改質方法。

【請求項5】
前記非晶質状炭素膜がダイヤモンド状炭素膜であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の非晶質状炭素膜の表面改質方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2009050836thum.jpg
出願権利状態 登録
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