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マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器

国内特許コード P100000519
整理番号 22897
掲載日 2010年1月22日
出願番号 特願2009-286477
公開番号 特開2011-129362
登録番号 特許第5582493号
出願日 平成21年12月17日(2009.12.17)
公開日 平成23年6月30日(2011.6.30)
登録日 平成26年7月25日(2014.7.25)
発明者
  • 小林 峰
  • アンジェイェフスキ ロフ
出願人
  • 国立研究開発法人理化学研究所
発明の名称 マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器
発明の概要 【課題】MCPの検出位置によって検出効率が異なる問題を解決する。
【解決手段】MCPを3枚用いた3段構成のMCP組立体を用いる。1段目のMCP81は電子の数を大きく増倍することを目的とせず、検出体を捕獲して2段目のMCP82に送り込むことを目的とする。1段目のMCP81のチャネルに衝突した検出体84,85は低い増倍率で二次電子に変換されて2段目のMCP82に入射し、チャネルに衝突しない検出体86は発散角が制限されて2段目のMCP82に入射する。これにより2段目のMCPのチャネル方向と検出体の進行方向が一致することを回避する。2段目及び3段目のMCPにより、MCP全面で十分に読み出し可能な電荷量まで二次電子数を増倍させる。
【選択図】図8
従来技術、競合技術の概要



マイクロチャネルプレートは、板状の絶縁性材料に多数の微細な貫通孔(マイクロチャネル)が設けられた構造を有する。個々のマイクロチャネルは、各々が微小な二次電子増倍管として機能し、電子やイオンがマイクロチャネルに入射してその壁面に衝突すると、そこから二次電子が放出され、それが更にチャネル壁に衝突して二次電子放出を繰り返すことにより電子が増幅される。マイクロチャネルの二次電子出射面に蛍光板等の検出器を配置することにより、電子やイオンの入射を高感度で検出することが可能である。マイクロチャネルプレートは、内部に多数のマイクロチャネルが形成された棒状の部材を所望の角度で板状に切り出して製作される。従って、チャネルの方向(軸線)はマイクロチャネルプレートの表面に立てた法線に対して切り出し角だけ傾いている。

産業上の利用分野



本発明は、複数のマイクロチャネルプレートを組み合わせたマイクロチャネルプレート組立体及びそれを用いたマイクロチャネルプレート検出器に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
検出体が入射する側からみて1段目のマイクロチャネルプレートと、2段目のマイクロチャネルプレートと、3段目のマイクロチャネルプレートとを順次重ねて配置した構造を有し、
前記1段目のマイクロチャネルプレートは2次電子増倍利得が1倍~4×103倍であり、前記2段目及び3段目のマイクロチャネルプレートは2次電子像倍利得が3×104倍~1×105倍であり、前記1段目のマイクロチャネルプレートの切り出し角は0゜~5゜であることを特徴とするマイクロチャネルプレート組立体。

【請求項2】
請求項記載のマイクロチャネルプレート組立体において、前記1段目のマイクロチャネルプレートの発散角は前記2段目のマイクロチャネルプレートの切り出し角より小さいことを特徴とするマイクロチャネルプレート組立体。

【請求項3】
マイクロチャネルプレート組立体と、前記マイクロチャネルプレート組立体の出射面に配置されたワイヤアノード検出器とを備えるマイクロチャネルプレート検出器において、
前記マイクロチャネルプレート組立体は、請求項1又は2記載のマイクロチャネルプレート組立体であることを特徴とするマイクロチャネルプレート検出器。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2009286477thum.jpg
出願権利状態 登録
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