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Fe‐Pt合金めっき方法およびFe‐Pt合金めっき液

国内特許コード P100000598
整理番号 NI0900050
掲載日 2010年3月19日
出願番号 特願2009-214920
公開番号 特開2011-063842
登録番号 特許第5334118号
出願日 平成21年9月16日(2009.9.16)
公開日 平成23年3月31日(2011.3.31)
登録日 平成25年8月9日(2013.8.9)
発明者
  • 新井 進
  • 加茂 琢弥
出願人
  • 国立大学法人信州大学
発明の名称 Fe‐Pt合金めっき方法およびFe‐Pt合金めっき液
発明の概要

【課題】磁気特性に優れるFe‐Pt合金めっき膜を提供できるFe‐Pt合金めっき方法を提供する。
【解決手段】Fe‐Pt合金めっき方法は、3価のFe塩、該3価のFeの錯化剤、Pt塩、および伝導度塩を含むFe‐Pt合金めっき液を用いて被めっき物にFe‐Pt合金めっきを行う工程と、該Fe‐Pt合金めっきが施された被めっき物に熱処理を行い、Fe‐Pt合金めっき膜をL1型Fe‐Pt規則合金に相変換させる熱処理工程とを含む。
【選択図】図39

従来技術、競合技術の概要


Fe‐Pt合金膜は磁気特性に優れる(高い保持力および磁気異方性を有する)ため、次世代磁気記録媒体(垂直磁気記録媒体)の材料として期待されている。 Fe‐Pt合金膜の作製方法としては電気めっき法が有効であるが、めっき浴の安定性に問題があった。
従来のFe‐Pt合金めっき液では、酸化数が2価の鉄イオン(Fe2+)を用いていた(特許文献1)。

産業上の利用分野


本発明は、Fe‐Pt合金めっき方法およびFe‐Pt合金めっき液に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
3価のFe塩、該3価のFeの錯化剤、Pt塩、および伝導度塩を含むFe‐Pt合金めっき液を用いて被めっき物にFe‐Pt合金めっきを行う工程と、
該Fe‐Pt合金めっきが施された被めっき物に熱処理を行い、Fe‐Pt合金めっき膜をL1型Fe‐Pt規則合金に相変換させる熱処理工程とを含むことを特徴とするFe‐Pt合金めっき方法。

【請求項2】
前記Feの錯化剤がクエン酸もしくはその塩であり、めっき液中の前記クエン酸もしくはその塩の含有量を増加させるに従い、Fe‐Pt合金めっき膜中のFe含有量が低下することを特徴とする請求項1記載のFe‐Pt合金めっき方法。

【請求項3】
めっき液中の前記3価のFe塩を増加させるに従い、Fe‐Pt合金めっき膜中のFe含有量が増加することを特徴とする請求項1または2記載のFe‐Pt合金めっき方法。

【請求項4】
前記Fe‐Pt合金めっき液のpHが4~10であることを特徴とする請求項1~3いずれか1項記載のFe‐Pt合金めっき方法。

【請求項5】
前記熱処理工程において400℃~600℃の温度で熱処理を行うことを特徴とする請求項1~4いずれか1項記載のFe‐Pt合金めっき方法。

【請求項6】
請求項1~5いずれか1項記載のFe‐Pt合金めっき方法によって得られたFe‐Pt合金めっき膜。

【請求項7】
Feが20~80atm%含むことを特徴とする請求項6記載のFe‐Pt合金めっき膜。

【請求項8】
3価のFe塩0.7mM~7.0mM、該3価のFeの錯化剤12.3mM~98mM、Pt塩1mM~4mM、および伝導度塩を含み、pHが4~10であることを特徴とするFe‐Pt合金めっき液。

【請求項9】
3価のFe塩がFe(SO・nHO、前記3価のFeの錯化剤が(NHCHO、Pt塩がPt(NO(NHであることを特徴とする請求項8記載のFe‐Pt合金めっき液。
産業区分
  • 表面処理
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2009214920thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
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