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エレクトレット、静電誘導型変換素子及びエレクトレットの荷電方法

国内特許コード P100000648
整理番号 E092P03
掲載日 2010年4月23日
出願番号 特願2010-070880
公開番号 特開2011-188725
登録番号 特許第5521159号
出願日 平成22年3月4日(2010.3.4)
公開日 平成23年9月22日(2011.9.22)
登録日 平成26年4月18日(2014.4.18)
発明者
  • 藤田 孝之
  • 中出 圭亮
  • 豊永 智彦
  • 前中 一介
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
  • 兵庫県
発明の名称 エレクトレット、静電誘導型変換素子及びエレクトレットの荷電方法
発明の概要 【課題】より簡易な構成で作製し易いものであるにもかかわらず、電荷消失を従来のものよりも抑制できたエレクトレット、及び、該エレクトレットに容易に荷電できるエレクトレットの荷電方法を得る。
【解決手段】静電誘導型変換素子100は、絶縁材料からなる基板11と、複数のグリッド接続用電極12と、複数のベース電極13と、絶縁材料層14とを有しているエレクトレット10と、エレクトレット10に対向して配設されている可動部20と、エレクトレット10と可動部20とに接続されている抵抗30とを備えている。エレクトレット10におけるベース電極13全てと、アース及びニードル電極41とを接続するとともに、グリッド40と、エレクトレット10におけるグリッド接続用電極12とを接続する。続いて、ニードル電極41とベース電極13との間に所定電圧を印加し、絶縁材料層14を荷電する。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要

従来から、エレクトレットは公知となっており、例えば、下記特許文献1の図3に示すようなものがある。下記特許文献1の図3に示したものは、絶縁材料の表面付近に電荷を注入して形成されているエレクトレットを有しており、該エレクトレットは、2つの導体の間に配置されて、該エレクトレットに対向する少なくとも一方の導体に対して相対的に運動して電気エネルギと運動エネルギとの変換を行うように構成されているものである。また、該エレクトレットの表面は防湿膜によって覆われており、電荷の消失を防止できるようになっている。



また、エレクトレットの荷電方法の一つとして、例えば、下記特許文献2の図1に示されている装置を用いたコロナ荷電が公知となっている。

産業上の利用分野


本発明は、蓄積された電荷が経時的に減少することを抑制できるエレクトレット、静電誘導型変換素子及びエレクトレットの荷電方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
アースに接続可能なベース電極と、グリッドに接続可能なグリッド接続用電極とが、交互に絶縁配列されている電極層と、
前記電極層の一方側の面に設けられている絶縁材料層と、を備えていることを特徴とするエレクトレット。

【請求項2】
前記ベース電極と前記グリッド接続用電極との間に、所定幅を有した離間部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のエレクトレット。

【請求項3】
前記ベース電極と前記グリッド接続用電極との間に、絶縁材料部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のエレクトレット。

【請求項4】
前記絶縁材料層と前記絶縁材料部とが一体形成されていることを特徴とする請求項3に記載のエレクトレット。

【請求項5】
請求項1~4のいずれか1項に記載のエレクトレットを備えていることを特徴とする静電誘導型変換素子。

【請求項6】
請求項1~4のいずれか1項に記載のエレクトレットにおける前記絶縁材料層側に、グリッドを配設するグリッド配設工程と、
前記グリッドの前記絶縁材料層側と反対側に、ニードル電極を配設するニードル電極配設工程と、
前記エレクトレットにおける前記ベース電極に、アースと前記ニードル電極とを接続する第1接続工程と、
前記グリッドと、前記エレクトレットにおけるグリッド接続用電極とを接続する第2接続工程と、
前記第1接続工程及び前記第2接続工程の後に、前記ニードル電極と前記ベース電極との間に所定電圧を印加して、前記エレクトレットにおける前記絶縁材料層に荷電する荷電工程と、
前記第1接続工程及び前記第2接続工程の後に、前記グリッドに所定電圧を印加する電圧印加工程と、を有していることを特徴とするエレクトレットの荷電方法。
産業区分
  • 発電、電動
国際特許分類(IPC)
画像

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JP2010070880thum.jpg
出願権利状態 登録
参考情報 (研究プロジェクト等) ERATO 前中センシング融合 領域
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