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物理量センサ及びその製造方法 コモンズ 新技術説明会

国内特許コード P100000780
整理番号 E092P06
掲載日 2010年7月2日
出願番号 特願2010-141923
公開番号 特開2012-007911
登録番号 特許第5463510号
出願日 平成22年6月22日(2010.6.22)
公開日 平成24年1月12日(2012.1.12)
登録日 平成26年1月31日(2014.1.31)
発明者
  • 蒋 永剛
  • 樋口 行平
  • 濱田 浩幸
  • 前中 一介
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
  • 兵庫県
発明の名称 物理量センサ及びその製造方法 コモンズ 新技術説明会
発明の概要 【課題】複数の物理量を同時に検出することができる物理量センサ及びその製造方法を得る。
【解決手段】可撓性又は柔軟性を全体に有した物理量センサ100は、基板1と、基板1上に形成されている電極層2と、電極層2上に並設されている圧電素子3a及び圧電素子3bと、圧電素子3a、3b上にそれぞれ形成されている電極層4a、4bと、電極層2、圧電素子3a、3b及び電極層4a、4bを保護している保護層5a、5b、5c、5d、5eと、を備えているものである。また、基板1、電極層2、圧電素子3a(第1の圧電素子)、電極層4a(第3の電極層)、保護層5a、5b、5c、5d、5eで、第1の物理量検出部6を構成しており、基板1、電極層2、圧電素子3b(第2の圧電素子)、電極層4b(第4の電極層)で、第2の物理量検出部7を構成している。
【選択図】図2
従来技術、競合技術の概要



従来から、下記特許文献1に開示されているように、圧力を検出して、圧覚およびすべり覚の両方を同時に検出することができるとともに、表面状態の凹凸も検出することができるセンサが公知となっている。

産業上の利用分野



本発明は、複数の物理量を計測するための物理量センサ及びその製造方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
第1の電極層と、前記第1の電極層上に設けられた第1の圧電素子と、前記第1の圧電素子上に設けられた第2の電極層と、を有した第1の物理量検出部と、
第3の電極層と、前記第3の電極層上に設けられた第2の圧電素子と、前記第2の圧電素子上に設けられた第4の電極層と、を有した第2の物理量検出部と、を備えた物理量センサであり、
前記第1の圧電素子の厚さ方向中心線が、前記物理量センサの中立軸と略一致又は一致するように、前記第1の圧電素子が配設され、
前記第2の圧電素子の厚さ方向中心線が、前記物理量センサの中立軸に対して偏在するように、前記第2の圧電素子が配設されていることを特徴とする物理量センサ。

【請求項2】
前記第1の物理量検出部と前記第2の物理量検出部とが並設されており、前記第1の電極層の一部と前記第3の電極層の一部とが、一層の電極層を形成するように接続されていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。

【請求項3】
前記第1の物理量検出部の少なくとも一方側に、可撓性絶縁層を介して前記第2の物理量検出部が積層形成されていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。

【請求項4】
前記第1の圧電素子側の第1の電極が基板に固定され、前記第2の圧電素子が外部からの振動によって所定方向に揺動可能な片持ち梁型のものであることを特徴とする請求項2に記載の物理量センサ。

【請求項5】
表面の少なくとも一部に、ポリジメチルシロキサン基板が設けられていることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の物理量センサ。

【請求項6】
請求項2に記載の物理量センサの製造方法であって、
前記一層の電極層上に圧電素子層を積層した後、エッチングして前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子とを形成する圧電素子形成工程と、
前記第1の圧電素子及び前記第2の圧電素子上に導電層を積層した後、エッチングして前記第3の電極層を前記第1の圧電素子上に形成するとともに、前記第4の電極層を前記第2の圧電素子上に形成する電極層形成工程と、を有していることを特徴とする物理量センサの製造方法。
産業区分
  • 測定
国際特許分類(IPC)
画像

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JP2010141923thum.jpg
出願権利状態 登録
参考情報 (研究プロジェクト等) ERATO 前中センシング融合 領域
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