TOP > 国内特許検索 > 窒化アルミニウム粉末の処理方法

窒化アルミニウム粉末の処理方法

国内特許コード P110001585
掲載日 2011年3月4日
出願番号 特願2008-083720
公開番号 特開2009-234862
登録番号 特許第5351426号
出願日 平成20年3月27日(2008.3.27)
公開日 平成21年10月15日(2009.10.15)
登録日 平成25年8月30日(2013.8.30)
発明者
  • 清宮 義博
  • 大塚 寛治
  • 水野 愛
出願人
  • タマティーエルオー株式会社
発明の名称 窒化アルミニウム粉末の処理方法
発明の概要

【課題】窒化アルミニウムの粉末と金属や有機物との濡れ性を改善することができる窒化アルミニウム粉末の処理方法を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム粉末を、酸素含有雰囲気下で熱処理することにより、窒化アルミニウム粉末の表面に酸化アルミニウム層または酸窒化アルミニウム層を形成する工程を有する。酸化アルミニウム層または酸窒化アルミニウム層を形成する工程の前に、アルミニウムを窒素雰囲気下で熱処理することにより、前記アルミニウムと窒素を反応させて前記窒化アルミニウム粉末を製造する工程を備えていてもよい。この場合、前記酸化アルミニウム層または酸窒化アルミニウム層を形成する工程は、前記窒化アルミニウム粉末を製造した後に、前記窒化アルミニウム粉末を室温まで冷却せずに酸素雰囲気下に置くことにより前記酸化アルミニウム層または酸窒化アルミニウム層を形成する工程であるのが好ましい。
【選択図】図1

従来技術、競合技術の概要


窒化アルミニウムは、熱伝導率が高く、熱膨張係数が低く、化学的にも安定である。このため、近年、半導体デバイス等やエンジン部材等、様々な分野へ応用されることが期待されている。



窒化アルミニウムを製造する方法としては、高い気圧(例えば100気圧)の窒素雰囲気中でアルミニウムを高温(例えば1600°)に加熱する方法がある。この方法によれば、窒化アルミニウムの粉末を得ることができる。非特許文献1には、窒化アルミニウムの製造に関する研究が開示されている。

【非特許文献1】小橋眞、斎木健蔵ら、日本軽金属学会第104回講演概要集(2003)2.

産業上の利用分野


本発明は、窒化アルミニウムの処理方法及び窒化アルミニウムに関し、特に、粉末状の窒化アルミニウムの処理方法及び窒化アルミニウムに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
アルミニウムを窒素雰囲気下で熱処理することにより、前記アルミニウムと窒素を反応させて窒化アルミニウム粉末を製造する工程と、
前記窒化アルミニウム粉末を酸素含有雰囲気下で熱処理することにより、前記窒化アルミニウム粉末の表面に酸化アルミニウム層または酸窒化アルミニウム層を形成する工程と、
を有し、
前記酸化アルミニウム層または酸窒化アルミニウム層を形成する工程は、前記窒化アルミニウム粉末を製造する工程の後に、前記窒化アルミニウム粉末を室温に冷却する前に酸素含有雰囲気下におくことにより前記酸化アルミニウム層または酸窒化アルミニウム層を形成する工程である窒化アルミニウム粉末の処理方法。

【請求項2】
請求項に記載の窒化アルミニウムの処理方法において、
前記窒化アルミニウム粉末を製造する工程は、窒化物の生成自由エネルギーがアルミニウムより小さい元素である触媒元素の窒化物を、前記アルミニウムとともに窒素雰囲気下で熱処理する工程である窒化アルミニウム粉末の処理方法。

【請求項3】
請求項に記載の窒化アルミニウムの処理方法において、
前記触媒元素はボロン、カルシウム、シリコン、鉄、モリブデン、クロム、及びバナジウムからなる群から選ばれた少なくとも一種である窒化アルミニウム粉末の処理方法。
産業区分
  • 無機化合物
国際特許分類(IPC)
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2008083720thum.jpg
出願権利状態 権利存続中


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close