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真空排気ポンプ 新技術説明会

国内特許コード P110002216
整理番号 S2009-1010-N0
掲載日 2011年4月7日
出願番号 特願2009-184795
公開番号 特開2011-038435
登録番号 特許第5371003号
出願日 平成21年8月7日(2009.8.7)
公開日 平成23年2月24日(2011.2.24)
登録日 平成25年9月27日(2013.9.27)
発明者
  • 小森 望充
  • 原 啓城
出願人
  • 国立大学法人九州工業大学
発明の名称 真空排気ポンプ 新技術説明会
発明の概要

【課題】構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
【解決手段】中央に配置されたシャフト11及びその周囲に取付けられた動翼12を有するロータ13と、ロータ13を囲むケーシング14及びケーシング14の内側に設けられた静翼15を有するステータ16と、シャフト11を回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプ10であり、軸受に超電導磁気軸受17、18が使用され、かつステータ16を冷却する冷媒に、超電導磁気軸受17、18に用いる冷媒が使用されている。
【選択図】図1

従来技術、競合技術の概要


一般の高真空機器において、排気の対象となる主なガス成分は水分子であるが、高真空機器の一種であるターボ分子ポンプは、水分子における排気速度がさほど高くない。
そこで、極低温で水分子を凝縮して吸着排気するコールドトラップを、ターボ分子ポンプの吸気口に取付けることにより、排気速度を向上させる方法がとられている(例えば、特許文献1、非特許文献1参照)。

産業上の利用分野


本発明は、コールドトラップの機能を備えた真空排気ポンプに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
中央に配置されたシャフト及びその周囲に取付けられた動翼を有するロータと、該ロータを囲むケーシング及び該ケーシングの内側に設けられた静翼を有するステータと、前記シャフトの両側を回転自由に支持する軸受とを備え、低真空の対象空間を高真空とする場合に使用する真空排気ポンプにおいて、
前記軸受に超電導磁気軸受が使用され、前記ロータは直立配置され、前記超電導磁気軸受は、シャフト側に永久磁石が固定軸受側に超電導体がそれぞれ配置され、更に、前記シャフトの下部に該シャフトを回転させるモータが設けられ、かつ前記ケーシングはジャケット構造となって前記静翼に流れ込む冷媒の流路を形成し、前記静翼を冷却する冷媒に、前記超電導磁気軸受に用いる冷媒が使用されていること特徴とする真空排気ポンプ。

【請求項2】
請求項記載の真空排気ポンプにおいて、前記永久磁石は複数の磁石を積層して構成され、しかも隣り合う前記磁石の磁極が同極であることを特徴とする真空排気ポンプ。
産業区分
  • 流体移送
  • 機械要素
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2009184795thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
詳細は、下記「問合せ先」まで直接お問い合わせください。


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