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X線回折を用いた結晶の観察方法及びその観察装置

国内特許コード P110002847
整理番号 A051P225
掲載日 2011年6月8日
出願番号 特願2001-089382
公開番号 特開2002-286660
登録番号 特許第3676249号
出願日 平成13年3月27日(2001.3.27)
公開日 平成14年10月3日(2002.10.3)
登録日 平成17年5月13日(2005.5.13)
発明者
  • 鯉沼 秀臣
  • 川崎 雅司
  • 福村 知昭
  • 大谷 亮
  • 表 和彦
  • 菊池 哲夫
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
  • 株式会社リガク
発明の名称 X線回折を用いた結晶の観察方法及びその観察装置
発明の概要 (57)【要約】【課題】 直線状に数度の入射角をもつX線と二次元X線検出器を採用することによって、X線回折の原理により結晶を高速に観察することができるX線回折を用いた結晶の観察方法及びその観察装置を提供する。【解決手段】 X線を観察したい結晶に照射し、その回折X線をX線検出器で検出するX線回折を用いた結晶の観察方法において、湾曲モノクロメータ3を用いて回折X線の入射角に有限の角度を持たせて、その回折X線を前記結晶6上に直線状に集光し、二次元X線検出器7を用いることによって、有限の回折角度にわたって前記結晶6の直線状の回折X線を同時に測定することにより、X線回折強度を空間的にマッピングし、前記結晶6を評価する。
従来技術、競合技術の概要



【従来の技術】

一般的には、これまで、薄膜デバイス検査など薄膜結晶やバルク結晶の観察は、主に光学顕微鏡、走査型電子顕微鏡で行われてきた。





最近、材料探索の効率化のために高速に試料を作成する様々な方法が開発されている。この方法では、単結晶基板上に様々な組成の薄膜を集積したコンビナトリアル試料を作成する。X線回折は格子定数や不純物相の有無、超格子周期などの重要な情報を得ることができる(例えば、特開2000-338061号)。

産業上の利用分野



【発明の属する技術分野】

本発明は、収束角をもって線状に集光するX線と二次元検出器を用いることにより、異なる複数の点でのX線回折を同時に測定できる、結晶の観察方法及びその観察装置に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
X線を観察したい結晶に照射し、その回折X線をX線検出器で検出するX線回折を用いた結晶の観察方法において、
湾曲モノクロメータを用いて回折X線の入射角に有限の角度を持たせて、該回折X線をコンポジションスプレッド薄膜結晶上に直線状に集光し、二次元X線検出器を用いることによって、前記有限の回折角度にわたって前記コンポジションスプレッド薄膜結晶の直線状の回折X線を同時に測定することにより、X線回折強度、回折角度及び半値幅を空間的にマッピングし、前記コンポジションスプレッド薄膜結晶の対称面および非対称面を測定することにより、前記コンポジションスプレッド薄膜結晶の面内および面に垂直な格子定数を高速に測定することを特徴とするX線回折を用いた結晶の観察方法。

【請求項2】
X線を観察したい結晶に照射し、その回折X線をX線検出器で検出するX線回折を用いた結晶の観察装置において、
(a)湾曲モノクロメータと、
(b)水平方向に複数列配置されるコンポジションスプレッド薄膜結晶を搭載するとともに、水平方向に駆動可能なステージと、
(c)前記コンポジションスプレッド薄膜結晶からの回折X線を検出する二次元X線検出器
(d)前記湾曲モノクロメータを用いて前記回折X線の入射角に有限の角度を持たせて、該回折X線を前記コンポジションスプレッド薄膜結晶上で垂直方向の直線状に集光し、前記二次元X線検出器を用いることによって、前記有限の回折角度にわたって前記コンポジションスプレッド薄膜結晶の垂直方向の直線状の回折X線を同時に測定することにより、X線回折強度を空間的にマッピングし、前記コンポジションスプレッド薄膜結晶の対称面および非対称面を測定することにより、前記コンポジションスプレッド薄膜結晶の面内および面に垂直な格子定数を高速に測定し、前記コンポジションスプレッド薄膜結晶を評価する手段とを具備することを特徴とするX線回折を用いた結晶の観察装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
出願権利状態 登録
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST 単一分子・原子レベルの反応制御 領域
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