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光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による光遅延発生方法及びその光遅延発生装置 実績あり

国内特許コード P110002858
整理番号 RJ002P97
掲載日 2011年6月8日
出願番号 特願2001-114897
公開番号 特開2002-310898
登録番号 特許第3626110号
出願日 平成13年4月13日(2001.4.13)
公開日 平成14年10月23日(2002.10.23)
登録日 平成16年12月10日(2004.12.10)
発明者
  • 丹野 直弘
  • 松村 澄男
  • 長谷川 倫郎
  • 日野 幸紀
  • 中川 亨
  • 河野 正博
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
  • エムテックスマツムラ株式会社
発明の名称 光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による光遅延発生方法及びその光遅延発生装置 実績あり
発明の概要 【課題】 奥行き方向(Z方向)の走査距離が長い断層画像を得ることができる光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による高速光遅延発生方法及びその高速光遅延発生装置を提供する。
【解決手段】 低コヒーレンス光源11と、この低コヒーレンス光源11からの光を被検査物への物体光と参照光とに2分割するハーフミラー12と、前記参照光を高速回転する回転体22上に放射状にかつ回転体接線方向に光が反射するように複数個のプリズムを配置する光遅延機構13と、この光遅延機構13からの参照光を反射回帰する固定ミラー14と、前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延機構13から回帰する参照光とを合波する前記ハーフミラー12と、このハーフミラー12で合波されたヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出する光検出器21とを具備する。
従来技術、競合技術の概要


従来の光コヒーレンストモグラフィーにおける光遅延発生方法としては、参照光の光路の第1のミラーと第2のミラーの回転体回転軸に対する位置を第1のミラーと第2のミラーの外辺を回転軸を通る弦に一致させた位置とする方法が知られている。



また、回転体上のプリズムの配置を長辺の中心となるようにしていた。



図3はかかる従来の光コヒーレンストモグラフィーの光遅延発生装置の構成図である。



この図において、1は回転体、2は回転体1の中心点、3はプリズムである。



ここでは、プリズム3の配置は、そのプリズム3の頂角の対角面を円周の接線におよそ直交するように配置されていた。



このような光遅延発生装置では、図3に示すように、反射光軸のズレが1.35mm生じ、光ビームの断面直径を、例えば、φ6mmとした場合において、物体光に対する参照光の合波面の横方向のずれが22.5%生じる。

産業上の利用分野


本発明は、光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による光遅延発生方法及びその光遅延発生装置に係り、特に、回転プリズムによる光遅延発生方法及びその光遅延発生装置に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
低コヒーレンス光源からの光を2分割用ハーフミラーで被検査物への物体光と参照光とに2分割し、前記参照光は回転反射体による光遅延機構を介して固定ミラーで反射回帰して、前記被検査物から回帰する物体光とともに前記2分割用ハーフミラーで合波し、該2分割用ハーフミラーで合波されたヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出する光コヒーレンストモグラフィーにおける回転プリズムによる光遅延発生方法において、前記光遅延機構として、回転する回転体上に放射状にかつ回転体の接線方向に光が反射するように複数個のプリズムを配置することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による光遅延発生方法。

【請求項2】
(a)低コヒーレンス光源と、
(b)該低コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照光とに2分割する2分割用ハーフミラーと、
(c)前記参照光を回転する回転体上に放射状にかつ回転体接線方向に光が反射するように複数個のプリズムを配置する光遅延機構と、
(d)該光遅延機構からの参照光を反射回帰する固定ミラーと、
(e)前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延機構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用ハーフミラーと、
(f)該2分割用ハーフミラーで合波されたヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出する光検出器とを具備することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による光遅延発生装置。

【請求項3】
請求項2記載の光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による光遅延発生装置において、前記光遅延機構は複数の直角プリズムを配置することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による光遅延発生装置。

【請求項4】
請求項3記載の光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による光遅延発生装置において、前記直角プリズムを4個配置することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による光遅延発生装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2001114897thum.jpg
出願権利状態 登録
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