TOP > 国内特許検索 > 光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による高速光遅延発生方法及びその光コヒーレンストモグラフィー装置

光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による高速光遅延発生方法及びその光コヒーレンストモグラフィー装置 UPDATE 実績あり

国内特許コード P110002859
整理番号 RJ002P96
掲載日 2011年6月8日
出願番号 特願2001-114898
公開番号 特開2002-310899
登録番号 特許第3539726号
出願日 平成13年4月13日(2001.4.13)
公開日 平成14年10月23日(2002.10.23)
登録日 平成16年4月2日(2004.4.2)
発明者
  • 丹野 直弘
  • 松村 澄男
  • 長谷川 倫郎
  • 日野 幸紀
  • 中川 亨
  • 河野 正博
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
  • エムテックスマツムラ株式会社
発明の名称 光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による高速光遅延発生方法及びその光コヒーレンストモグラフィー装置 UPDATE 実績あり
発明の概要 【課題】 奥行き方向(Z方向)の走査距離が十分に長い断層画像を得ることができる、光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による高速光遅延発生方法及びその光コヒーレンストモグラフィー装置を提供する。
【解決手段】 低コヒーレンス光源1と、この低コヒーレンス光源1からの光を被検査物Aへの物体光と参照光とに2分割するハーフミラー2と、前記参照光を回転反射体12により遅延させる光遅延機構3と、この光遅延機構3からの参照光を反射回帰する固定ミラー4と、被検査物Aから回帰する物体光と前記光遅延機構から回帰する参照光とを合波する前記ハーフミラー2と、このハーフミラー2で合波されたヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出する光検出器11とを具備する。
従来技術、競合技術の概要


従来の光コヒーレンストモグラフィーにおける高速光遅延発生方法として、参照光の経路をハーフミラー→第1のミラー→第2のミラー→ハーフミラーとし、第1のミラーと第2のミラー2の合わせ境界を反射中心とする方法が知られている。



図2は従来の光コヒーレンストモグラフィー装置の概略構成図である。



この図において、101は低コヒーレンス光源〔例えば、SLD(スーパールミネッセントダイオード)光源〕、102はハーフミラー(2分割用ハーフミラー)、103は回転体、104Aは第1のミラー、104Bは第2のミラー、105,106はミラー、Aは被検査物、107は光検出器である。

産業上の利用分野


本発明は、光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による高速光遅延発生方法及びその光コヒーレンストモグラフィー装置に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】低コヒーレンス光源からの光を2分割用ハーフミラーで被検査物への物体光と参照光とに2分割し、該参照光は回転反射体による光遅延機構を介して固定ミラーで反射回帰して、前記被検査物から回帰する物体光とともに前記2分割用ハーフミラーで合波し、該2分割用ハーフミラーで合波されたヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による高速光遅延発生方法。
【請求項2】(a)低コヒーレンス光源と、
(b)該低コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照光とに2分割する2分割用ハーフミラーと、
(c)前記参照光を回転反射体により遅延させる光遅延機構と、
(d)該光遅延機構からの参照光を反射回帰する固定ミラーと、
(e)前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延機構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用ハーフミラーと、
(f)該2分割用ハーフミラーで合波されたヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出する光検出器とを具備することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
【請求項3】(a)低コヒーレンス光源と、
(b)該低コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照光とに2分割する2分割用ハーフミラーと、
(c)前記参照光を回転反射体により遅延させる光遅延機構と、
(d)該光遅延機構からの参照光を反射回帰する固定ミラーと、
(e)前記物体光で被検査物の面内を走査する面走査機構と、
(f)対物レンズと、
(g)前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延機構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用ハーフミラーと、
(h)該2分割用ハーフミラーで合波された干渉光を検出する光検出器とを具備することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
【請求項4】請求項2又は3記載の光コヒーレンストモグラフィー装置において、前記光遅延機構は、高速回転する回転体上に放射状にかつ該回転体の接線方向に光を反射するように、第1のミラーと第2のミラーからなる一対のミラーを前記回転体の表面に複数対配置することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
【請求項5】請求項2又は3記載の光コヒーレンストモグラフィー装置において、前記固定ミラーはスキャン開始位置調整ミラーであり、前記物体光における光軸の奥行き方向であるZ方向に一致させ、深さ方向の走査開始位置を調整可能としたことを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
【請求項6】請求項3記載の光コヒーレンストモグラフィー装置において、前記面走査機構はX軸走査ミラー及びY軸走査ミラーを備え、前記被検査物に対する物体光で前記被検査物の面(X-Y)を高速に走査することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2001114898thum.jpg
出願権利状態 登録
ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、問合せボタンを押してください。


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close