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顕微分光測定装置

国内特許コード P110003354
整理番号 K014P50
掲載日 2011年6月20日
出願番号 特願2004-151127
公開番号 特開2005-331419
登録番号 特許第4336847号
出願日 平成16年5月21日(2004.5.21)
公開日 平成17年12月2日(2005.12.2)
登録日 平成21年7月10日(2009.7.10)
発明者
  • 小平 哲也
  • 井上 俊一
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
  • 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 顕微分光測定装置
発明の概要 【課題】 試料の特定の微小部分について、透過および/または反射スペクトルと、ラマンおよび/または蛍光スペクトルとを簡単かつ位置精度よく測定することができる顕微分光測定装置を提供する。
【解決手段】 第1の光学系と第2の光学系とを含み、第1の光学系は、第1の光を測定部分に入射させて、測定部分の透過スペクトルおよび反射スペクトルから選ばれる少なくとも1つのスペクトル(A)を測定するための光学系であり、第2の光学系は、第2の光を測定部分に入射させて、測定部分のラマンスペクトルおよび蛍光スペクトルから選ばれる少なくとも1つのスペクトル(B)を測定するための光学系である。第1および第2の光学系は、複数の光学素子を共有しており、第1の光学系の光路と第2の光学系の光路とは、重なっている部分であって且つ第1の光と第2の光とが互いに逆方向に進行する部分を含む。第1の光学系と第2の光学系とは切り替え可能である。
【選択図】 図1
従来技術、競合技術の概要


従来から、試料の特定の微小領域について透過および反射スペクトルを測定する装置が提案されている(たとえば特許文献1)。また、試料の特定の微小領域について、ラマンスペクトルを測定する装置も提案されている(たとえば特許文献2)。
【特許文献1】
特開2000-356588号公報
【特許文献2】
特開2001-215193号公報

産業上の利用分野


本発明は、顕微分光測定装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
試料の一部を測定部分として前記測定部分の分光測定を行う顕微分光測定装置であって、
第1の光学系と第2の光学系とを含み、
前記第1の光学系は、第1の光を前記測定部分に入射させて、前記測定部分の透過スペクトルおよび前記測定部分の反射スペクトルから選ばれる少なくとも1つのスペクトル(A)を測定するための光学系であり、
前記第2の光学系は、第2の光を前記測定部分に入射させて、前記測定部分のラマンスペクトルおよび前記測定部分の蛍光スペクトルから選ばれる少なくとも1つのスペクトル(B)を測定するための光学系であり、
前記第1および第2の光学系は、複数の光学素子を共有しており、
前記第1の光学系の光路と前記第2の光学系の光路とは、重なっている部分であって且つ前記第1の光と前記第2の光とが互いに逆方向に進行する部分を含み、
前記第1の光学系と前記第2の光学系とが切り替え可能であり、
前記第1および第2の光学系が第1および第2のミラーを共有しており、
前記第1の光学系において、前記第1のミラーは前記第1の光を前記試料の方向に反射し、前記第2のミラーは前記試料を透過した前記第1の光を第1の光検出器の方向に反射し、
前記第2の光学系において、前記第2のミラーは前記第2の光を前記試料の方向に反射し、前記第1のミラーは前記試料から発せられる光を第2の光検出器の方向に反射する、顕微分光測定装置。

【請求項2】
前記試料の一方から前記測定部分に前記第1の光を入射させて前記測定部分の透過スペクトルを測定し、前記一方とは反対側の他方から前記測定部分に前記第2の光を入射させて前記スペクトル(B)を測定する請求項1に記載の顕微分光測定装置。

【請求項3】
前記第1の光学系は、前記第1の光を前記他方から前記測定部分に入射させて前記測定部分の反射スペクトルを測定するための光学素子を含む請求項2に記載の顕微分光測定装置。

【請求項4】
前記スペクトル(A)の測定と前記スペクトル(B)の測定とを切り替えるために前記第2のミラーを回転させるモータをさらに備える請求項1に記載の顕微分光測定装置。

【請求項5】
前記第1および第2の光学系が1つの分光器を共有しており、
前記分光器は、前記第1の光を分光する分光器、および、前記第2の光を前記測定部分に入射させたときに生じるラマン散乱光および蛍光から選ばれる少なくとも1つの光を分光する分光器として機能する請求項1~4のいずれか1項に記載の顕微分光測定装置。

【請求項6】
前記分光器が差分散型2重分光器である請求項5に記載の顕微分光測定装置。

【請求項7】
前記分光器は前記第1の光が出射する出射スリットを備え、前記第1の光学系が視野絞りを備え、前記出射スリットと前記視野絞りとを用いて前記測定部分の位置を調整する請求項5に記載の顕微分光測定装置。

【請求項8】
試料の一部を測定部分として前記測定部分の分光測定を行う顕微分光測定装置であって、
第1の光学系と第2の光学系とを含み、
前記第1の光学系は、第1の光を前記測定部分に入射させて、前記測定部分の透過スペクトルおよび前記測定部分の反射スペクトルから選ばれる少なくとも1つのスペクトル(A)を測定するための光学系であり、
前記第2の光学系は、第2の光を前記測定部分に入射させて、前記測定部分のラマンスペクトルおよび前記測定部分の蛍光スペクトルから選ばれる少なくとも1つのスペクトル(B)を測定するための光学系であり、
前記第1および第2の光学系は、複数の光学素子を共有しており、
前記第1の光学系の光路と前記第2の光学系の光路とは、重なっている部分であって且つ前記第1の光と前記第2の光とが互いに逆方向に進行する部分を含み、
前記第1の光学系と前記第2の光学系とが切り替え可能であり、
前記第1および第2の光学系が1つの分光器を共有しており、
前記分光器は、前記第1の光を分光する分光器、および、前記第2の光を前記測定部分に入射させたときに生じるラマン散乱光および蛍光から選ばれる少なくとも1つの光を分光する分光器として機能する、顕微分光測定装置。

【請求項9】
前記分光器が差分散型2重分光器である請求項8に記載の顕微分光測定装置。

【請求項10】
前記分光器は前記第1の光が出射する出射スリットを備え、前記第1の光学系が視野絞りを備え、前記出射スリットと前記視野絞りとを用いて前記測定部分の位置を調整する請求項8に記載の顕微分光測定装置。

【請求項11】
前記第2の光学系が前記第1の光学系と前記視野絞りを共有しており、
前記第2の光は、前記視野絞りを通過したのちに前記測定部分に入射される請求項10に記載の顕微分光測定装置。

【請求項12】
前記第2の光学系が光検出器を含み、
前記スペクトル(B)は、前記出射スリットを通過したのちに前記光検出器で検出される請求項11に記載の顕微分光測定装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2004151127thum.jpg
出願権利状態 登録
参考情報 (研究プロジェクト等) さきがけ 秩序と物性 領域
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