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マイクロチャネルプレート、ガス比例計数管、及び撮像装置

国内特許コード P110003782
整理番号 K018P30
掲載日 2011年6月29日
出願番号 特願2006-209071
公開番号 特開2007-059391
登録番号 特許第5152950号
出願日 平成18年7月31日(2006.7.31)
公開日 平成19年3月8日(2007.3.8)
登録日 平成24年12月14日(2012.12.14)
優先権データ
  • 特願2005-221722 (2005.7.29) JP
発明者
  • 門叶 冬樹
  • 櫻井 敬久
  • 郡司 修一
  • 住吉 孝行
  • 岡田 晃行
  • 遠藤 哲朗
  • 藤田 良雄
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
  • 浜松ホトニクス株式会社
発明の名称 マイクロチャネルプレート、ガス比例計数管、及び撮像装置
発明の概要 【課題】高輝度と高解像度の両方を同時に達成できる優れた特性を有するマイクロチャネルプレート、ガス比例計数管、及び撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明による撮像型の検出装置は、例えば、撮像系に電源系及び制御系が接続されたものである。撮像系は、ベリリウム窓を有し複数のチャネル13が設けられたMCP1が設けられたチャンバの後段に、光検出器が収容されたチャンバがFOPを介して接合されたものである。また、チャネル13の開口端の周囲及びその内壁上に電極1aが設けられている。
【選択図】図3
従来技術、競合技術の概要


近年、マイクロチャネルプレート(Micro Chanel Plate;MCP)として機能する鉛ガラス製キャピラリープレートを撮像型のガス比例計数管(Capillary Gas Proportional Counter;CGPC)として動作させる新しいタイプの検出器が開発されている(非特許文献1~8参照)。また、最近では、X線等の二次元位置検出が可能な別の放射線検出器として、ガス・エレクトロン・マルチプライアー(Gas Electron Multiplier;GEM)が注目を浴びている(非特許文献10~12参照)。



さらに、本発明者は、従来のCGPCを更に改良し、ノイズレベルを十分に低減できるキャピラリープレートとそれを用いた新しいCGPC(特許文献1)、及び、GEMに比して耐衝撃性及び取扱性に優れると共に、感度分布の一様性をより高めたCGCP(特許文献2)を提案している。
【非特許文献1】
H. Sakurai et al., "A new type of proportional counter using a capillary plate", Nucl. Instr. And Meth. In Phys. Res. A374(1996)341-344.
【非特許文献2】
H. Sakurai et al., "Characteristics of capillary gas proportional counter", SPIE Proceedings Reprint, vol.2806(1996)569-576.
【非特許文献3】
H. Sakurai et al., "Detection of photoabsorption point with capillary imaging gas proportional counter", IEEE Trans on Nucl. Sci. vol.49, No.3, (2002).
【非特許文献4】
M. Tsukahara et al., "The development of a new type of imaging X-ray detector with a capillary plate", IEEE Trans on Nucl. Sci. vol.49, No.3, (1997)679-682.
【非特許文献5】
H. Sakurai et al., "The form of X-ray photoelectron tracks in a capillary gas proportional counter", IEEE Trans on Nucl. Sci. vol.46, No.3, (1999)333-337.
【非特許文献6】
H. Sakurai, "Imaging gas proportional counter with capillary plate", 放射線 vol.25, No.1, (1999)27-37.
【非特許文献7】
H. Sakurai et al., "New type of imaging X-ray detector using a capillary plate", SPIE Proceedings Reprint, vol.3114(1997)481-487.
【非特許文献8】
T. Masuda et al., "Optical imaging capillary gas proportional counter with penning mixtures", IEEE Trans on Nucl. Sci. vol.49, No.2, (2002)553-558.
【非特許文献9】
Nishi,Yu.; Tanimori,Y.; Ochi,A.; Nishi,Ya.; Toyokawa,H., "Development of a hybrid MSGC with a conductive capillary plate.", SPIE, vol.3774(1999)87-96.
【非特許文献10】
F. Sauli, Nucl. Instr. And Meth. A 368(1977)531.
【非特許文献11】
F. A. F. Fraga, et al., Nucl. Instr. And Meth. A 442(2000)417.
【非特許文献12】
D. Mormann, et al., Nucl. Instr. And Meth. A 504(2003)93.
【特許文献1】
特開2004-241298号公報
【特許文献2】
特開2005-32634号公報

産業上の利用分野


本発明は、マイクロチャネルプレート、ガス比例計数管、及び撮像装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
複数の貫通孔が設けられ且つ絶縁性を有する基体を備えており、
前記複数の貫通孔は、内壁断面が略直状をなすものであり、かつ、前記基体の平面方向に垂直であり、
前記基体は、前記複数の貫通孔の両端部に所定の電圧を印加するための一対の電極を有しており、
前記一対の電極は、前記複数の貫通孔の両端部の内壁上に離間して設けられており、
前記一対の電極の少なくともいずれか一方は、光電変換部として機能するものである、
マイクロチャネルプレート。

【請求項2】
前記光電変換部は、アルカリ金属原子を含むものである、
請求項1記載のマイクロチャネルプレート。

【請求項3】
前記光電変換部は、下記式(1);
Lcp×0.1<La …(1)、
Lcp:前記貫通孔の軸方向長さ、
La: 前記貫通孔の軸方向に沿う前記光電変換部の長さ、
で表される関係を満たすものである、
請求項2記載のマイクロチャネルプレート。

【請求項4】
前記光電変換部は、複数種類のアルカリ金属原子を含むものである、
請求項1~のいずれか一項に記載のマイクロチャネルプレート。

【請求項5】
主として不活性ガスを含む検出用ガスが充填されており、電磁波又は電離放射線が入射する窓を有するチャンバと、
前記チャンバ内に配置された請求項1~のいずれか一項に記載のマイクロチャネルプレートと、
を備えるガス比例計数管。

【請求項6】
前記検出用ガスが分子中にハロゲン原子を含む有機系ガスを含有するものである、
請求項記載のガス比例計数管。

【請求項7】
請求項又はに記載のガス比例計数管と、
前記チャンバの後段に配置された光検出器と、
を備える撮像装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2006209071thum.jpg
出願権利状態 登録
参考情報 (研究プロジェクト等) さきがけ 情報と細胞機能 領域
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