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共振モード格子フィルター 実績あり

国内特許コード P110004600
整理番号 RB03P01
掲載日 2011年7月22日
出願番号 特願平11-079051
公開番号 特開2000-275415
登録番号 特許第3627093号
出願日 平成11年3月24日(1999.3.24)
公開日 平成12年10月6日(2000.10.6)
登録日 平成16年12月17日(2004.12.17)
発明者
  • 岩田 耕一
  • 菊田 久雄
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
  • 公立大学法人大阪府立大学
発明の名称 共振モード格子フィルター 実績あり
発明の概要 【課題】 入射光が格子面に対して斜めから入射する場合に偏光依存性を改善することができる共振モード格子フィルターを提供する。
【解決手段】 入射光の入射面に対して対称な2つの等価な共振光の波数ベクトルを格子面内に生じさせるように、二次元に配列された格子構造を有する格子層1を備える。
従来技術、競合技術の概要


近年のめざましい加工技術の発展により、光の波長と同程度又はそれ以下の微細加工が可能になり、光の波長と同程度の周期を持つ回折格子を作成することが可能になっている。該回折格子では、格子ピッチがある共振条件を満たすと共振現象が発生し、強い反射が起こる。これは、回折格子におけるアノマリーの現象の一つであるが、この現象を利用することにより、共振モード格子フィルターと呼ばれる非常に帯域の狭い反射型の波長フィルターを作成することができる。



共振モード格子フィルターについての研究は、近年途についたばかりであり、1985年にMashevとPopovが初めて、共振モードを用いた反射フィルターを提案し、波長633nmの可視光による実験を行っている(L.Mashev and E.Popov,“Zero order anomaly of dielectric coated gratings”,Optics Comm. 55,6,377-380(1985))。その後、しばらく年をあけて、1994年にWangとMagnussonが反射防止膜の理論を用いて、共振波長以外の波長での反射率を0%近くに抑えた反射フィルターの数値計算を行っている(S.S.Wang and R.Magnusson,“Design of waveguide-grating filters with symmetrical line shapes and low sidebands”,Optics Lett. 19,919-921(1994))。また、1995年には同じWangとMagnussonが透過フィルターの提案を行っている(R.Magnusson and S.S.Wang,“Transmission bandpass guided-mode resonance filters”,Appl. Opt. 34,35,8106-8109(1995))。さらに、1996年には、Morrisが初めて格子構造を二次元にし、垂直入射での偏光依存性をなくした反射フィルターの数値計算と波長780nmの赤外光による実験を行っている(S.Peng and G.M.Morris,“Resonant Scattering from two-dimensional gratings”,J. Opt. Soc. Am. A 13,5,993-1005(1996),“Experimental demonstration of resonant anomalies in diffraction from two dimensional gratings”,Optics Lett. 21,8,549-551(1996))。

産業上の利用分野


本発明は、共振モード格子フィルターに関し、特に、偏光依存性を改善した二次元格子の共振モード格子フィルターに関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】格子面内に2つの等価な共振光の波数ベクトルを生じさせるように、二次元に配列された格子構造を有する格子層を備え、
前記2つの共振光の波数ベクトルは、入射光の入射面に対して対称であることを特徴とする共振モード格子フィルター。
【請求項2】前記格子層の格子構造は、凹部又は凸部を格子状に複数配列することにより形成され、前記凹部又は凸部は、鏡面対称且つ回転対称な形状を有し、前記凹部又は凸部の二等分線上に前記入射光の入射面が位置することを特徴とする請求項1に記載の共振モード格子フィルター。
【請求項3】前記凹部又は凸部の形状は、ひし形であることを特徴とする請求項2に記載の共振モード格子フィルター。
【請求項4】前記格子層の格子構造は、凹部又は凸部を市松模様状に複数配列することにより形成され、前記凹部又は凸部は、鏡面対称且つ回転対称な形状を有し、前記凹部又は凸部の二等分線上に前記入射光の入射面が位置することを特徴とする請求項1に記載の共振モード格子フィルター。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP1999079051thum.jpg
出願権利状態 登録
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