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マイクロ・ナノ構造体の製造方法及びマイクロ・ナノ構造体 コモンズ

国内特許コード P110004895
整理番号 P20060175
掲載日 2011年8月18日
出願番号 特願2006-280932
公開番号 特開2008-094686
登録番号 特許第4734573号
出願日 平成18年10月16日(2006.10.16)
公開日 平成20年4月24日(2008.4.24)
登録日 平成23年5月13日(2011.5.13)
発明者
  • 田中 俊一郎
  • 田中 宏幸
出願人
  • 国立大学法人東北大学
発明の名称 マイクロ・ナノ構造体の製造方法及びマイクロ・ナノ構造体 コモンズ
発明の概要


【課題】FEDなどの用途への使用が期待できる新規なマイクロ・ナノ構造体、及び自己組織化を利用したマイクロ・ナノ構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】銅酸化物からなり、外径に対する長さの比であるアスペクト比が1.5以上で、半導体特性を有し、内部が中空なナノチューブであることを特徴とするマイクロ・ナノ構造体。及び、低真空中で金属銅の表面に高エネルギービームを照射して、励起した銅原子と低真空中に残留する酸素原子とを結合させつつ、自己組織化によって、内部が中空なナノチューブを製造することを特徴とするマイクロ・ナノ構造体の製造方法。
【選択図】図6

従来技術、競合技術の概要


原子や分子を堆積して特別構造の結晶表面や人工格子などのマイクロ・ナノ物質を、ボトムアップ方式で作成する場合において、適当な条件のもとでは自己組織化が進行する。自己組織化を利用すると基板表面のわずかな原子が堆積した突起を基にして針状の結晶を成長させて金属のミクロワイヤーを作成したり、また基板上の円孔や凹みをその後の結晶成長で埋めることなくそのまま保存したりすることができる。



このような自己組織化を利用したマイクロ・ナノ構造体として、本願発明者の一人の発明に係る特許文献1に開示されたものがある。このものは、Cu、Al等の金属材料を塑性変形などさせて集合組織を形成し、これにArイオンビームを照射して、集合組織の優先面を基として特定の方位に突起を成長、形成したものである。この突起は集合組織の優先方位の方向に突出しているので、当該マイクロ・ナノ構造体を、各種デバイスや機能材料へ応用することが期待できる。例えば、特定波長の光や電磁波に対するマイクロ・ナノフィルターや導波路、微細な半導体回路、高効率触媒、電子エミッター等に応用することが期待できる。



このようなマイクロ・ナノ構造体の各種デバイスや機能材料等への適用範囲をさらに広げ、これを実現するためには、新規なマイクロ・ナノ構造体の製造方法及びマイクロ・ナノ構造体を提供する必要がある。

【特許文献1】特開2005-262373号公報 (図4)

産業上の利用分野


本発明は、電子的、光学的な用途が期待されるナノチューブであるマイクロ・ナノ構造体の製造方法及びマイクロ・ナノ構造体に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
10-3~10-5Paの低真空中で金属銅の表面に高エネルギービームを照射して、励起した銅原子と低真空中に残留する酸素原子とを結合させつつ、自己組織化によって、内部が中空なナノチューブを製造することを特徴とするマイクロ・ナノ構造体の製造方法。

【請求項2】
請求項1に記載のマイクロ・ナノ構造体の製造方法により製造されたマイクロ・ナノ構造体であって、銅酸化物からなり、外径に対する長さの比であるアスペクト比が1.5以上で、内部が中空なナノチューブであることを特徴とするマイクロ・ナノ構造体。
産業区分
  • 無機化合物
  • その他機械要素
  • 電子管
  • その他電子
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2006280932thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
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