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表面が改質された真空材料とその表面改質方法

国内特許コード P010000124
掲載日 2002年9月30日
出願番号 特願平10-350333
公開番号 特開2000-178715
登録番号 特許第3010214号
出願日 平成10年12月9日(1998.12.9)
公開日 平成12年6月27日(2000.6.27)
登録日 平成11年12月10日(1999.12.10)
発明者
  • 土佐 正弘
  • 笠原 章
  • 吉原 一紘
出願人
  • 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 表面が改質された真空材料とその表面改質方法
発明の概要 【課題】 真空材料の真空中における摩擦特性を改善し、トライボロジー特性の向上を図る。
【解決手段】 真空材料の表面に、六方晶窒化ホウ素及び銅をスパッタ蒸着してこれらの混合膜を形成し、真空中における摩擦係数を低減させる。
従来技術、競合技術の概要



従来より、SUS304等のステンレス鋼や銅などは、真空下で使用される真空機器の構造部材、摺動部材等の真空材料として採用されている。これらの真空材料については、使用環境の真空度を保つために、表面からのガス放出を抑制することが課題の一つとしてあり、表面を被覆材料によって被覆するという試みが幾つかなされている。

たとえば、六方晶窒化ホウ素は、真空環境下においてガス吸着性能が低く、被覆材料の一候補として有望視されている。しかしながら、六方晶窒化ホウ素は、大気中では摩擦係数が低いものの、真空中において高い摩擦係数を示すことが明らかとなった。このような摩擦特性の低下は、真空材料、特に真空機器の摺動部材に採用される材料としては好ましくない。

この出願の発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされたものであり、低いガス吸着性能をそのままに保持しつつ、トライボロジー特性の向上を図り、真空中における摩擦特性が改善された真空材料とそのための表面改質方法を提供することを目的としている。

産業上の利用分野



この出願の発明は、表面が改質された真空材料とその表面改質方法に関するものである。さらに詳しくは、この出願の発明は、低いガス吸着性能をそのままに保持できる一方、真空中における摩擦特性が改善され、トライボロジー特性の向上を図ることのできる、ステンレス鋼や銅などの真空材料とそのための表面改質方法に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
表面が六方晶窒化ホウ素と銅のスパッタ蒸着による混合膜で被覆され、真空中における摩擦係数が低減されていることを特徴とする表面が改質された真空材料。

【請求項2】
1×10-3Paよりも高度の真空度において、摩擦係数が0.2以下である請求項1記載の表面が改質された真空材料。

【請求項3】
真空材料の表面に、六方晶窒化ホウ素及び銅をスパッタ蒸着してこれらの混合膜を形成し、真空中における摩擦係数を低減させることを特徴とする真空材料の表面改質方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 登録
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