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光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置

国内特許コード P120006614
整理番号 WASEDA-1077
掲載日 2012年2月9日
出願番号 特願2010-140546
公開番号 特開2012-004069
登録番号 特許第5544598号
出願日 平成22年6月21日(2010.6.21)
公開日 平成24年1月5日(2012.1.5)
登録日 平成26年5月23日(2014.5.23)
発明者
  • 坂上 和之
  • 鷲尾 方一
出願人
  • 学校法人早稲田大学
発明の名称 光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置
発明の概要 【課題】電子ビームの時間幅を容易に変更することができる光陰極高周波電子銃、および、当該光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置を提供する。
【解決手段】カソード部3と、前記カソード部3にレーザー光8を照射するレーザー照射口4と、前記カソード部3から放出された電子9を加速する加速空胴部5と、前記加速空胴部5の内部に高周波を導入する高周波導入部15とを備える光陰極高周波電子銃1において、前記加速空胴部5は、二以上の基本セル10と、前記基本セル10同士の間に設けられる基本アイリス12と、前記基本セル10の出口に最終アイリス13を挟んで連通された最終セル11とを有し、前記最終アイリス13の厚さは、前記第2アイリス12の厚さと異なることを特徴とする。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要



光陰極高周波電子銃(以下「電子銃」という)は電子生成時の電子ビームの時間幅をレーザーによって制御することが出来るため、短パルス・高電荷・高品質、つまり高輝度な電子ビームを生成することが可能な装置として広く用いられている。1ps(rms)を切るような時間幅の電子ビームを生成することは非常に有用性が認められており、例えばテラヘルツ電磁波発生装置への利用が期待されている(例えば特許文献1)。すなわち、上記時間幅はテラヘルツ光の周期よりも電子ビーム幅が短いため、生成された光がコヒーレントに重なりあい、強めあうためである。その生成方法としては、軌道放射光のみならず、遷移放射光や回折放射光なども挙げられる。





従来の電子銃は、陰極(カソード)と加速空胴が一体に形成されており、生成した電子を即座に加速することにより、高輝度な電子ビームを得ることができる。

産業上の利用分野



本発明は、光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
カソード部と、
前記カソード部にレーザー光を照射するレーザー照射口と、
前記カソード部から放出された電子を加速する加速空胴部と、
前記加速空胴部の内部に高周波を導入する高周波導入部と
を備える光陰極高周波電子銃において、
前記加速空胴部は、
二以上の基本セルと、
前記基本セル同士の間に設けられる基本アイリスと、
前記基本セルの出口に最終アイリスを挟んで連通された最終セルと
を有し、
前記基本アイリスは、前記基本セルのうち終端に設けられた出口セルと、当該出口セルと隣り合う他の基本セルの間に配置された、後方アイリスを含み、
前記最終アイリスの厚さは、前記後方アイリスの厚さと異なり、前記後方アイリスの厚さより薄く形成されていることを特徴とする光陰極高周波電子銃。

【請求項2】
前記高周波の波長をλとした場合、前記最終アイリスの厚さをλ/8~λ/10としたことを特徴とする請求項1記載の光陰極高周波電子銃。

【請求項3】
請求項または記載の光陰極高周波電子銃を備えたことを特徴とする電子線装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2010140546thum.jpg
出願権利状態 登録
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