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プラズモンチップ コモンズ 新技術説明会

国内特許コード P120006845
整理番号 807-1203
掲載日 2012年3月15日
出願番号 特願2013-013308
公開番号 特開2013-178498
登録番号 特許第6094961号
出願日 平成25年1月28日(2013.1.28)
公開日 平成25年9月9日(2013.9.9)
登録日 平成29年2月24日(2017.2.24)
優先権データ
  • 特願2012-024619 (2012.2.8) JP
発明者
  • 山口 堅三
  • 藤井 正光
出願人
  • 国立大学法人 香川大学
  • 独立行政法人国立高等専門学校機構
発明の名称 プラズモンチップ コモンズ 新技術説明会
発明の概要 【課題】1つのチップでプラズモン共鳴波長を変更できるプラズモンチップを提供する。
【解決手段】複数本の金属梁11(11a、11b)からなるグレーチング部10と、一端が金属梁11の先端に接続されたサスペンション梁21と、サスペンション梁21の他端を固定するアンカー部22と、一対の電極23、24とを備えており、グレーチング部10は、一方の電極23に接続された金属梁11aと、他方の電極24に接続された金属梁11bとが、交互に所定間隔を開けて平行に配列されて構成されている。一対の電極23、24間に電圧を印加すれば、その金属梁11の間に働く静電引力により、金属梁11同士を接近させることができる。グレーチング部10のギャップを変化させることができ、1つのチップでプラズモン共鳴波長を変更できる。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要


光の波長程度またはそれ以下の金属微細構造物に光を照射すると局在プラズモン共鳴が生じ、特定の波長の光が透過または反射されることが知られている。また、金属微細構造物の寸法や形状、構造に依存して、透過または反射される光の波長が異なることも知られている。例えば、非特許文献1には、金属微小球対において、様々な微小球間距離における光吸収効率を求めており、微小球間距離が小さくなるにしたがってプラズモン共鳴波長が長波長側にシフトしていくことが記載されている。



一方、近年の微細加工技術の発達に伴い、金属微細構造を高精度で加工することが可能となっており、所望のプラズモン共鳴波長を有するチップを得ることが可能となっている。
しかし、従来のチップは、その金属微細構造が固定されており、1つのチップは特定のプラズモン共鳴波長しか有しないものであった(例えば、特許文献1)。すなわち、1つのチップが透過または反射する光の波長は固定されていた。そのため、透過または反射させる光の波長を変更するためには、チップを交換する必要があった。

産業上の利用分野


本発明は、プラズモンチップに関する。さらに詳しくは、金属中の自由電子の集団的振動であるプラズモンを利用した、光学フィルタやセンサなどとして用いられるプラズモンチップに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
所定間隔を開けて平行に配列された複数本の金属梁からなるグレーチング部と、
前記金属梁同士を接近および/または離間させるアクチュエータと、を備え
前記アクチュエータは、隣り合う前記金属梁にそれぞれ逆符号および/または同符号の電荷を帯電させ、該金属梁の間に働く静電引力および/または静電斥力により、該金属梁同士を接近および/または離間させるものである
ことを特徴とするプラズモンチップ。

【請求項2】
前記アクチュエータは、一対の電極を備えており、
前記グレーチング部は、一方の前記電極に接続された金属梁と、他方の前記電極に接続された金属梁とが、交互に所定間隔を開けて平行に配列されて構成されている
ことを特徴とする請求項記載のプラズモンチップ。

【請求項3】
前記アクチュエータは、
一端が前記金属梁の先端に接続されたサスペンション梁と、
該サスペンション梁の他端を固定するアンカー部と、を備えている
ことを特徴とする請求項記載のプラズモンチップ。

【請求項4】
前記サスペンション梁は、隣り合う組となる金属梁間のギャップ側に偏って該金属梁の先端に接続されている
ことを特徴とする請求項記載のプラズモンチップ。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 登録
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