TOP > 国内特許検索 > 偏光特性測定装置及び偏光特性測定方法

偏光特性測定装置及び偏光特性測定方法

国内特許コード P120007585
整理番号 S2009-0585
掲載日 2012年5月24日
出願番号 特願2009-079895
公開番号 特開2010-230565
登録番号 特許第5308208号
出願日 平成21年3月27日(2009.3.27)
公開日 平成22年10月14日(2010.10.14)
登録日 平成25年7月5日(2013.7.5)
発明者
  • 若山 俊隆
  • 吉澤 徹
  • 大谷 幸利
出願人
  • 学校法人 埼玉医科大学
  • 国立大学法人宇都宮大学
発明の名称 偏光特性測定装置及び偏光特性測定方法
発明の概要

【課題】実時間での測定を行うことが可能な偏光特性測定装置及び偏光特性測定方法を提供すること。
【解決手段】光源12から出射された光を、偏光子22、第1の1/4波長板24を介して試料30に入射させ、試料30を透過した光を、第2の1/4波長板42、検光子44を介して円錐ミラー62の頂点に入射させる。第1の1/4波長板24の各位置における主軸方位と、第2の1/4波長板42の各位置における主軸方位の比が、それぞれ1:Nとなるように構成する。カメラ50は、円筒形スクリーン60の内面に投射されたリングビームRBを撮像し、画像データを演算装置70に対して出力する。
【選択図】図1

従来技術、競合技術の概要


従来から、測定対象の偏光特性を測定する手法として、2重回転位相子法が知られている(例えば、特許文献1参照)。この手法では、位相子を回転させる機械駆動が必要であり、装置が大型化する。また、機械駆動を必要としない液晶リターダを用いた偏光特性の測定手法として電気光学変調法が知られている(例えば、特許文献2参照)。この手法では、4つの液晶リターダに異なる電圧を印加することで高速測定を行うことができる。

産業上の利用分野


本発明は、測定対象の偏光特性を測定する偏光特性測定装置及び偏光特性測定方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
測定対象の偏光特性を測定する偏光特性測定装置において、
第1及び第2の偏光変調器と、
前記第1及び第2の偏光変調器と前記測定対象で前記光を変調せることによって得られる測定光を受光する受光部とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子と第1の波長板とを含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子と第2の波長板とを含み、
光源から出射された光を、前記第1の偏光子及び前記第1の波長板を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第2の波長板及び前記第2の偏光子を介して前記受光部に入射させるように構成され、
前記第1及び第2の波長板が、位置によって異なる複数の主軸方位を有し、
前記第1の波長板の各位置における主軸方位と、前記第1の波長板の各位置に対応する前記第2の波長板の各位置における主軸方位の比が、それぞれ1:N(Nは2以上の整数)であることを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項2】
請求項1において、
前記第1及び第2の波長板が、光軸回りに変化する主軸方位を有することを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項3】
請求項1又は2において、
前記第1及び第2の波長板の複屈折位相差が90°であることを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項4】
測定対象の偏光特性を測定する偏光特性測定装置において、
第1及び第2の偏光変調器と、
前記第1及び第2の偏光変調器と前記測定対象で前記光を変調せることによって得られる測定光を受光する受光部とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子と第1及び第2の波長板とを含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子と第3及び第4の波長板とを含み、
光源から出射された光を、前記第1の偏光子、前記第1の波長板及び前記第2の波長板を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の波長板、前記第4の波長板及び前記第2の偏光子を介して前記受光部に入射させるように構成され、
前記第1、第2、第3及び第4の波長板が、位置によって異なる複数の複屈折位相差を有し、
前記第1及び第2の波長板の各位置における複屈折位相差と、前記第1及び第2の波長板の各位置に対応する前記第3及び第4の波長板の各位置における複屈折位相差の比が、それぞれ1:N(Nは2以上の整数)であることを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項5】
請求項4において、
前記第1、第2、第3及び第4の波長板が、光軸回りに変化する複屈折位相差を有することを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項6】
請求項4又は5において、
前記第1の波長板の主軸方位が、前記第1の偏光子の透過軸に対して45°の奇数倍の角度差を有するように設定され、
前記第2の波長板の主軸方位が、前記第1の波長板の主軸方位に対して45°の奇数倍の角度差を有するように設定され、
前記第4の波長板の主軸方位が、前記第2の偏光子の透過軸に対して45°の奇数倍の角度差を有するように設定され、
前記第3の波長板の主軸方位が、前記第4の波長板の主軸方位に対して45°の奇数倍の角度差を有するように設定されたことを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項7】
請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記受光部で検出される光の強度分布を解析することにより、前記測定対象の偏光特性を表す偏光特性要素を算出する演算処理部を更に含むことを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項8】
請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記第2の偏光変調器から出射された光を円錐ミラーに入射させるように構成され、
前記受光部が、
前記円錐ミラーによって放射状に反射された光を受光することを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項9】
請求項8において、
前記円錐ミラーが、微細な周期構造を有し、
前記受光部が、
前記円錐ミラーによって分光された光を受光することを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項10】
請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記第2の偏光変調器から出射された光を円錐レンズに入射させるように構成され、
前記受光部が、
前記円錐レンズを透過した光を受光することを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項11】
請求項10において、
前記円錐レンズが、微細な周期構造を有し、
前記受光部が、
前記円錐レンズによって分光された光を受光することを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項12】
請求項1乃至11のいずれかにおいて、
前記第1の偏光変調器から出射された光を前記測定対象に集光させる第1のレンズと、前記測定対象によって変調された前記光を平行光とし前記第2の偏光変調器に入射させる第2のレンズとを更に含むことを特徴とする偏光特性測定装置。

【請求項13】
測定対象の偏光特性を測定する偏光特性測定方法において、
第1及び第2の偏光変調器と前記測定対象によって変調された測定光を受光する手順と、
前記測定光の強度分布を解析することにより、前記測定対象の偏光特性を表す偏光特性要素を算出する手順とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子と第1の波長板とを含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子と第2の波長板とを含み、
前記測定光は、光源から出射された光を、前記第1の偏光子及び前記第1の波長板を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第2の波長板及び前記第2の偏光子を介して受光部に入射させることで得られる光であり、
前記第1及び第2の波長板が、位置によって異なる複数の主軸方位を有し、
前記第1の波長板の各位置における主軸方位と、前記第1の波長板の各位置に対応する前記第2の波長板の各位置における主軸方位の比が、それぞれ1:N(Nは2以上の整数)であることを特徴とする偏光特性測定方法。

【請求項14】
測定対象の偏光特性を測定する偏光特性測定方法において、
第1及び第2の偏光変調器と前記測定対象によって変調された測定光を受光する手順と、
前記測定光の強度分布を解析することにより、前記測定対象の偏光特性を表す偏光特性要素を算出する手順とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子と第1及び第2の波長板とを含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子と第3及び第4の波長板とを含み、
前記測定光は、光源から出射された光を、前記第1の偏光子、前記第1の波長板及び前記第2の波長板を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の波長板、前記第4の波長板及び前記第2の偏光子を介して受光部に入射させることで得られる光であり、
前記第1、第2、第3及び第4の波長板が、位置によって異なる複数の複屈折位相差を有し、
前記第1及び第2の波長板の各位置における複屈折位相差と、前記第1及び第2の波長板の各位置に対応する前記第3及び第4の波長板の各位置における複屈折位相差の比が、それぞれ1:N(Nは2以上の整数)であることを特徴とする偏光特性測定方法。
産業区分
  • 試験、検査
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2009079895thum.jpg
出願権利状態 権利存続中


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close