TOP > 国内特許検索 > 透明導電薄膜、及びタッチパネル

透明導電薄膜、及びタッチパネル 新技術説明会

国内特許コード P120008154
整理番号 09145
掲載日 2012年11月1日
出願番号 特願2010-134503
公開番号 特開2011-258530
登録番号 特許第5610430号
出願日 平成22年6月11日(2010.6.11)
公開日 平成23年12月22日(2011.12.22)
登録日 平成26年9月12日(2014.9.12)
発明者
  • 加藤 昌彦
  • 住本 宏治
  • 菅田 淳
  • 曙 紘之
出願人
  • 国立大学法人広島大学
発明の名称 透明導電薄膜、及びタッチパネル 新技術説明会
発明の概要 【課題】タッチパネルのタッチ位置検出性能を高めるとともに、タッチパネルの製造コストを安価にすることのできる透明導電薄膜を提供する。
【解決手段】透明導電薄膜4は、歪みに対する電気抵抗の変化率が300以上である材料から形成される。具体的には、透明導電薄膜4は、Zn:Oの組成比が、37.21:62.79から、37.69:62.31の範囲内のZnOから形成される。透明導電薄膜4は、真空チャンバ内に、ガラス基板2と、Znを成分とするターゲットとを配置した状態で、真空チャンバ内に、18.0cm/minの流量でアルゴンを導入し、且つ、1.0cm/min以上、2.0cm/min以下の流量で酸素を導入しながら、ターゲットをスパッタすることで製造される。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要



従来、液晶テレビ等において、2枚の導電基板を備えたタッチパネルが使用される(特許文献1)。図7は、この種のタッチパネルの一例を示す。図7に示すタッチパネル20は、導電基板21,22と、非導電性のスペーサ23とを有し、導電基板21、スペーサ23、導電基板22の順にディスプレイ30上に配置される。導電基板21は、ガラス基板24と、この上に形成される透明導電薄膜25とから構成され、導電基板22は、ガラス基板26と、この上に形成される透明導電薄膜27とから構成される。透明導電薄膜25,27は、スペーサ23の高さ分の隙間をもって相対する。





透明導電薄膜25,27は、例えば、InにSnをドープしたITO(Indium Tin Oxide)から形成され、それぞれ電極を構成する。タッチパネル20は、ガラス基板26の表面が指やペンで押されることで、その押された位置における透明導電薄膜27の部分が透明導電薄膜25に接触して通電し、この際の電気抵抗が計測されることで、押された位置が検出される。

産業上の利用分野



本発明は、タッチパネルに使用される透明導電薄膜、及びタッチパネルに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
歪みに対する電気抵抗の変化率が300以上である材料から形成されることを特徴とする透明導電薄膜。

【請求項2】
前記材料は、Zn:Oの組成比が、37.21:62.79から、37.69:62.31の範囲内のZnOであることを特徴とする請求項1に記載の透明導電薄膜。

【請求項3】
前記材料の組織は、微結晶からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の透明導電薄膜。

【請求項4】
第1電極と、請求項1又は2に記載の透明導電薄膜と、第2電極とが、ガラス基板の一方の表面に、順次積層された構造を有し、
前記第1電極は、第1方向に並設される複数の第1電極ラインから構成され、該第1電極ラインは、それぞれ前記第1方向と交差する第2方向に延在し、
前記第2電極は、前記第2方向に並設される複数の第2電極ラインから構成され、該第2電極ラインは、それぞれ前記第1方向に延在し、
前記第1,2電極ラインには電圧計又は電流計が接続され、該電圧計又は電流計の計測値により前記透明導電薄膜の電気抵抗の変化が生じた位置が特定されることで、タッチ位置が検出されることを特徴とするタッチパネル。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2010134503thum.jpg
出願権利状態 登録


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close