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フレネルゾーンプレート及び該フレネルゾーンプレートを使用したX線顕微鏡

国内特許コード P120008257
掲載日 2012年11月19日
出願番号 特願2007-514601
登録番号 特許第4568801号
出願日 平成18年4月18日(2006.4.18)
登録日 平成22年8月20日(2010.8.20)
国際出願番号 JP2006308108
国際公開番号 WO2006115114
国際出願日 平成18年4月18日(2006.4.18)
国際公開日 平成18年11月2日(2006.11.2)
優先権データ
  • 特願2005-121990 (2005.4.20) JP
発明者
  • 遠藤 久満
出願人
  • 国立大学法人京都工芸繊維大学
発明の名称 フレネルゾーンプレート及び該フレネルゾーンプレートを使用したX線顕微鏡
発明の概要

【課題】最外周の不透明帯の幅を小さくすることができない場合でも、分解能を向上させることができる複合照射機能をもつフレネルゾーンプレート及び該フレネルゾーンプレートを使用したX線顕微鏡を提供すること。
【解決手段】本発明の複合照射機能をもつフレネルゾーンプレート1は、平板状の透明基板2上に、中心から半径方向に向けて同心円状に不透明帯3と透明帯4とを交互に配し、上面に垂直照射された平面波の一部が、散乱することなくフレネルゾーンプレート1の下方に配設された試料6にそのまま垂直入射するように、透過窓7を形成したものである。
【選択図】 図2

従来技術、競合技術の概要


X線を光源として物体の高分解能透過像を得るX線顕微鏡の中には、対物レンズにフレネルゾーンプレート(Fresnel’s zone plate)を使用するものがある(例えば、特許文献1参照)。



このフレネルゾーンプレートは、図6に示すように、X線を透過する透明基板上に、中心から数えてn番目の円の半径Rnがnの平方根に比例するような多数の同心円輪群を作り、中心から半径方向に向けて不透明帯(黒色輪)と透明帯(白色輪)とを交互に配したものであり、軟X線領域やX線領域の光に対して非常に有効なレンズ材として機能する。



また、このフレネルゾーンプレートは、最外周の不透明帯の幅(いわゆる、最外殻ゾーン幅)を小さくすることにより、分解能を向上させることができ、微細加工技術の進歩により、現在では、1μmオーダーの分解能を有するフレネルゾーンプレートを作製することが可能である。

【特許文献1】特開平10-104400号公報

産業上の利用分野


本発明は、透明基板上に中心から半径方向に向けて不透明帯と透明帯とを交互に配した複合照射機能をもつフレネルゾーンプレート及びそのフレネルゾーンプレートを複合照射レンズとして使用した対物レンズをもたないX線顕微鏡に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】 平板状の透明基板上に、中心から半径方向に向けて同心円状に不透明帯と透明帯とを交互に配したフレネルゾーンプレートの上面に垂直照射された平面波の一部が、該フレネルゾーンプレートから擾乱を受けることなく前記フレネルゾーンプレートの下方に配設された試料にそのまま垂直入射するように、当該フレネルゾーンプレートに透過窓を形成したことを特徴とする複合照射機能をもつフレネルゾーンプレート。
【請求項2】 前記透明窓は、前記透明基板に面抜部分を設けることによって形成されていることを特徴とする請求項1に記載の複合照射機能をもつフレネルゾーンプレート。
【請求項3】 前記透過窓は、前記不透明帯が形成されないように、又は、形成されたものが取り除かれるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の複合照射機能をもつフレネルゾーンプレート。
【請求項4】 平板状の透明基板上に、中心から半径方向に向けて同心円状に不透明帯と透明帯とを交互に配したフレネルゾーンプレートの上面に垂直照射された平面波の一部が、該フレネルゾーンプレートから擾乱を受けることなく前記フレネルゾーンプレートの下方に配設された試料にそのまま垂直入射するように、当該フレネルゾーンプレートの一部分を軸方向に切除したことを特徴とする複合照射機能をもつフレネルゾーンプレート。
【請求項5】 切除した前記フレネルゾーンプレートの一部分は、当該フレネルゾーンプレートの略半分であることを特徴とする請求項4に記載の複合照射機能をもつフレネルゾーンプレート。
【請求項6】請求項1乃至5のいずれかに記載の複合照射機能をもつフレネルゾーンプレートを複合照射レンズとして使用する対物レンズをもたないX線顕微鏡。
産業区分
  • 原子力
  • 光学装置
  • 試験、検査
国際特許分類(IPC)
Fターム
出願権利状態 権利存続中
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