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流速センサ

国内特許コード P120008355
整理番号 S2011-0292
掲載日 2012年11月29日
出願番号 特願2011-001917
公開番号 特開2012-145356
登録番号 特許第5656191号
出願日 平成23年1月7日(2011.1.7)
公開日 平成24年8月2日(2012.8.2)
登録日 平成26年12月5日(2014.12.5)
発明者
  • 下山 勲
  • 松本 潔
  • ▲たか▼畑 智之
  • 菅 哲朗
  • 桑名 健太
  • 高橋 英俊
  • グェン ミン ジューン
出願人
  • 国立大学法人 東京大学
発明の名称 流速センサ
発明の概要 【課題】流路内の流体の流れの阻害や流速センサのエネルギー損失を少なくし、流路内の流体の流速を効率良く計測する流速センサ1を提供する。
【解決手段】流路2を流れる流体の速度を計測する流速センサ1において、前記流路2に接続され、前記流路2をバイパスするバイパス路3と、前記バイパス路3内に設けられ、前記流路2の上流と下流の圧力差を計測する検知部7と、を備え、前記圧力差を計測することによって、前記流路2内の流体の流速を計測することを特徴とする。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要


従来、流路内の流体の流速を計測する手法として、熱式流速センサがある。これは、ヒータによって流体を加熱すると、その熱分布が流体の流速によって変化し、流体の流速が早いほどヒータ近傍の温度が低下するため、そのヒータ近傍の流体温度の変動を検知部で計測することによって、流路内の流体の流速を算出するというものである(特許文献1)。



また、別な手法として、カルマン渦を利用した流速センサがある。この手法では、流路内に設けられた渦発生部によって発生するカルマン渦を利用して流体の圧力を2つの導圧管を介して受圧部に導入する。そして、その2つの導圧管の圧力差を受けて受圧部がトーションバーを回転軸として周期的に捻じれ、その捻じれの周波数をトーションバーに形成したピエゾ抵抗で検出することによって、流速センサは、流路を流れる流体の流速を算出している(特許文献2)。

産業上の利用分野


本発明は、流路内の流体の流速を計測する流速センサに関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
流路を流れる流体の速度を計測する流速センサにおいて、
前記流路に接続され、前記流路をバイパスするバイパス路と、
前記バイパス路内に設けられ、前記流路の上流と下流の圧力差を計測する検知部と、
を備え、
前記検知部が、
ピエゾ抵抗層が設けられたカンチレバー部と、
前記流路と前記バイパス路とを繋ぐ通路と
を有し、
前記カンチレバー部と前記通路の間に設けられた隙間が、前記流体が流入しないように形成されており、
前記圧力差を計測することによって、前記流路内の前記流体の流速を計測することを特徴とする流速センサ。

【請求項2】
前記検知部が、前記流路の流路内面と略同一平面上に設けられ、前記バイパス路と一体に形成されていることを特徴とする請求項1記載の流速センサ。
産業区分
  • 測定
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2011001917thum.jpg
出願権利状態 登録
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