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プラズマ生成装置用の電源及びプラズマ生成装置

国内特許コード P130008456
整理番号 2011-081
掲載日 2013年1月7日
出願番号 特願2012-171342
公開番号 特開2014-032771
登録番号 特許第6061288号
出願日 平成24年8月1日(2012.8.1)
公開日 平成26年2月20日(2014.2.20)
登録日 平成28年12月22日(2016.12.22)
発明者
  • 上杉 喜彦
  • 石島 達夫
  • 田中 康規
  • 住石 裕次郎
出願人
  • 国立大学法人金沢大学
発明の名称 プラズマ生成装置用の電源及びプラズマ生成装置
発明の概要 【課題】プラズマ生成装置用の電源として適した、構成が簡便でしかも効率良くプラズマを生成できる電源を提供する。
【解決手段】負荷であるプラズマリアクター20に電力を供給するための電源10であって、トランス12と、トランス12とプラズマリアクター20との間に直列に接続される複数のSIDAC13とを備える。電源10は、さらに、トランス12とプラズマリアクター20との間に直列に接続されるSIDAC13の個数を切り替えるためのスイッチ14を備えてもよい。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要



プラズマジェットは大気圧非平衡プラズマの一種である。大きな特徴として、プラズマジェットは電子温度が数万Kと高温なのに対し、ガス温度は常温程度であるため照射対象に熱負荷をかけずに、化学的に活性なラジカルによるプラズマプロセスを行うことが可能である。近年、大気圧非平衡プラズマの医療、生物分野や、燃料改質、プラズマCVD、ナノチューブ合成など様々な領域への応用が急速に進んでいる。大気圧非平衡プラズマを生成するための装置は、これまでに多数提案されている(例えば、特許文献1~3)。

産業上の利用分野



本発明は、プラズマ生成装置用の電源及びプラズマ生成装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
負荷であるプラズマリアクターに電力を供給するための電源であって、
昇圧トランスと、
前記昇圧トランスと前記負荷との間に直列に接続される複数の高電圧交流用シリコンダイオード
を備える電源。

【請求項2】
さらに、前記昇圧トランスと前記負荷との間に直列に接続される高電圧交流用シリコンダイオードの個数を切り替えるためのスイッチを備える
請求項1に記載の電源。

【請求項3】
前記昇圧トランスはネオントランスである
請求項1または2に記載の電源。

【請求項4】
昇圧トランスと、
プラズマリアクターと、
前記昇圧トランスと前記プラズマリアクターとの間に直列に接続されている複数の高電圧交流用シリコンダイオードと、を備え、
前記プラズマリアクターは、前記昇圧トランスから前記複数の高電圧交流用シリコンダイオードを介して供給される高電圧を用いてプラズマを生成する
プラズマ生成装置。

【請求項5】
前記プラズマリアクターは、
石英管と、
ソースガスを前記石英管へ導くガス導入部と、
前記石英管の内部に通された内部電極と、
前記石英管の外周を覆う外部電極と、
で構成され、前記内部電極と前記外部電極との間に前記高電圧を印加することで生じる誘電体バリア放電によってプラズマを生成する
請求項4に記載のプラズマ生成装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
  • 2G084AA05
  • 2G084AA13
  • 2G084AA24
  • 2G084BB13
  • 2G084BB37
  • 2G084CC03
  • 2G084CC07
  • 2G084CC19
  • 2G084CC33
  • 2G084CC34
  • 2G084DD35
  • 2G084EE15
  • 2G084EE18
  • 2G084EE21
  • 2G084EE24
  • 2G084GG02
  • 2G084GG07
  • 2G084GG30
画像

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JP2012171342thum.jpg
出願権利状態 登録
(有)金沢大学ティ・エル・オーは、金沢大学の研究者の出願特許を産業界へ技術移転することを主目的として、金沢大学の教官の出資により設立された技術移転機関です。
ご興味のある方は、下記「問合せ先」へ整理番号と共にご連絡願います。
なお、既に活用のお申し込み・お打合わせ等の段階に入っている場合もございますので、予めご承知おきください。


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