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液体処理装置及び液体処理方法

国内特許コード P130008760
整理番号 H24-031
掲載日 2013年3月25日
出願番号 特願2013-053010
公開番号 特開2014-079743
出願日 平成25年3月15日(2013.3.15)
公開日 平成26年5月8日(2014.5.8)
優先権データ
  • 特願2012-212057 (2012.9.26) JP
発明者
  • 牧野 勉
  • 猪原 哲
出願人
  • 国立大学法人佐賀大学
発明の名称 液体処理装置及び液体処理方法
発明の概要 【課題】放電効率の安定化及びその向上を実現することができる液体処理装置及び液体処理方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る液体処理装置1は、気体を含む液体が流れる流路11aと、その流路11a内に設けられ、液体中で放電を生じさせる一対の電極12及び13と、それら一対の電極12及び13の間の液体中に乱流を発生させる乱流発生部16とを備える。これにより、放電効率の安定化及びその向上を実現することができる。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要



液体処理装置は、液体中での放電によりその液体を処理する装置である。この液体処理装置では、放電のために気体が必要となるが、例えば、水中プラズマ放電を用いる場合、放電時に生じるジュール熱を利用して液体中の溶解ガスを気化させることで液体中に微小気泡を発生させ、この微小気泡を介して放電を行う方法が提案されている。また、液体中に気体を溶解する溶解タンクと液体中での放電を行う放電タンクとを分け、その放電タンク内での圧力調整により液体中に微小気泡を発生させる方法も提案されている(例えば、特許文献1参照)。





このような液体処理装置の具体例としては、例えば、汚染水処理装置や基板処理装置などが開発されている。汚染水処理装置は、汚染水の液体中での放電によりオゾンやOHラジカルを発生させて汚染水を浄化する。また、基板処理装置は、液体中での放電によりオゾンやOHラジカルを有する処理液を生成し、その処理液を半導体ウェーハやガラス基板などの基板に供給することで、例えば、パーティクル除去や金属除去、レジスト剥離などの各種処理を行う装置である。この基板処理装置は、例えば半導体装置や液晶表示装置などの製造工程に広く普及している。

産業上の利用分野



本発明の実施形態は、液体処理装置及び液体処理方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
気体を含む液体が流れる流路と、
前記流路内に設けられ、前記液体中で放電を生じさせる一対の電極と、
前記一対の電極間の前記液体中に乱流を発生させる乱流発生部と、
を備えることを特徴とする液体処理装置。

【請求項2】
前記一対の電極は、前記液体が前記流路を流れる方向に並ぶように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体処理装置。

【請求項3】
前記乱流発生部は、前記流路内に設けられた突起部であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体処理装置。

【請求項4】
前記突起部は、前記一対の電極間であって前記放電を妨げない位置に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の液体処理装置。

【請求項5】
前記流路は、その途中から前記液体が前記流路を流れる方向に沿って徐々に広がるように形成されており、
前記突起部は、前記流路が広がり始める箇所に設けられていることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の液体処理装置。

【請求項6】
前記突起部は、その突出量を変更可能に形成されていることを特徴とする請求項3ないし請求項5のいずれか一項に記載の液体処理装置。

【請求項7】
前記突起部は複数設けられていることを特徴とする請求項3ないし請求項6のいずれか一項に記載の液体処理装置。

【請求項8】
前記突起部は、三角柱形状に形成されており、その三角柱の側面のいずれか一つの頂上を前記液体が前記流路を流れる方向の上流側に向けて設けられていることを特徴とする請求項3ないし請求項7のいずれか一項に記載の液体処理装置。

【請求項9】
前記流路を流れる前記液体の流量は、前記乱流発生部により前記乱流が発生する流量に設定されていることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の液体処理装置。

【請求項10】
前記一対の電極による放電によって生じ、前記乱流発生部による乱流によって分断されて微小気泡となったガスを前記液体に溶解する溶解部をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか一項に記載の液体処理装置。

【請求項11】
気体を含む液体中に乱流を発生させる工程と、
前記乱流が生じた前記液体中で放電を生じさせる工程と、
を有することを特徴とする液体処理方法。

【請求項12】
前記放電を生じさせる工程では、前記液体が流れる方向に前記放電を生じさせることを特徴とする請求項11に記載の液体処理方法。

【請求項13】
前記放電によって生じ、前記乱流によって分断されて微小気泡となったガスを前記液体に溶解する工程をさらに有することを特徴とする請求項11又は請求項12に記載の液体処理方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2013053010thum.jpg
出願権利状態 公開
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