TOP > 国内特許検索 > 物理量検出システム、物理量検出方法および物理量検出プログラム

物理量検出システム、物理量検出方法および物理量検出プログラム コモンズ 新技術説明会

国内特許コード P130008829
整理番号 12027KJ011
掲載日 2013年3月27日
出願番号 特願2012-193628
公開番号 特開2014-048246
登録番号 特許第5975566号
出願日 平成24年9月3日(2012.9.3)
公開日 平成26年3月17日(2014.3.17)
登録日 平成28年7月29日(2016.7.29)
発明者
  • 近藤 淳
  • 成島 彰洋
出願人
  • 国立大学法人静岡大学
発明の名称 物理量検出システム、物理量検出方法および物理量検出プログラム コモンズ 新技術説明会
発明の概要 【課題】インピーダンス変化型センサにおける温度が変化した場合であっても正確な物理量を検出することができる表面弾性波を用いた物理量検出システム、物理量検出方法および物理量検出プログラムを提供する。
【解決手段】物理量検出システム100は、センサモジュール110とホスト装置130とを備えている。センサモジュール110は、圧電基板112上に高周波電気信号と表面弾性波とを相互に変換する表面弾性波変換IDT116と、湿度センサ120が接続されて同湿度センサ120のインピーダンス変化に応じて表面弾性波の反射率が変化する表面弾性波反射IDT117とが互いに対向配置されている。ホスト装置130は、センサモジュール110からの応答信号を構成する高周波電気信号における位相変化を用いて湿度センサ120における検出湿度の温度補償を行う温度補償部132cおよび補償データ記憶部132bをそれぞれ備えている。
【選択図】 図2
従来技術、競合技術の概要



従来から、光、音、超音波(振動)、圧力、温度、湿度、ガス、電界または磁界などの各種物理量を表面弾性波(SAW:Surface Acoustic Wave)を介して検出する物理量検出システムがある。例えば、下記特許文献1には、表面弾性波と高周波電気信号とを相互に変換する表面弾性波変換IDT(Interdigital Transducer)と、受光量に応じてインピーダンスが変化する受光素子が接続された表面弾性波反射IDTとを圧電基板上で対向配置するとともに、表面弾性波変換IDTと表面弾性波反射IDTとの間で表面弾性波を往復伝播させた際における表面弾性波反射IDTの反射率の変化による表面弾性波の変化に基づいて受光素子が受光した光量を検出する無給電ワイヤレス式フォトセンサが開示されている。

産業上の利用分野



本発明は、表面弾性波(SAW:Surface Acoustic Wave)を用いて種々の物理量を検出する物理量検出システム、物理量検出方法および物理量検出プログラムに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
圧電効果を示す圧電体で構成されるとともに表面弾性波を伝播可能な圧電基板と、
前記圧電基板上にて互いに対向配置された2つの第1櫛歯状電極を有して高周波電気信号と前記表面弾性波とを相互に変換する表面弾性波変換手段と、
検出対象から受ける物理量に応じてインピーダンスが変化するインピーダンス変化型センサと、
前記圧電基板上にて互いに対向配置された2つの第2櫛歯状電極を有するとともに少なくとも同2つの第2櫛歯状電極のうちの一方が前記インピーダンス変化型センサにおける一方の端子に接続されて前記表面弾性波変換手段によって励振された前記表面弾性波を反射する表面弾性波反射手段と、
前記表面弾性波変換手段にて変換された前記高周波電気信号の振幅を用いて前記物理量を特定する物理量特定手段と、
前記物理量特定手段にて前記物理量を特定する際に前記表面弾性波変換手段にて変換された前記高周波電気信号の位相変化を用いて前記物理量の温度補償を行う温度補償手段とを備えたことを特徴とする物理量検出システム。

【請求項2】
請求項1に記載した物理量検出システムにおいて、さらに、
前記表面弾性波変換手段にて変換された前記高周波電気信号の位相変化を用いて前記インピーダンス変化型センサの温度を特定する温度特定手段を備えることを特徴とする物理量検出システム。

【請求項3】
請求項1または請求項2に記載した物理量検出システムにおいて、
前記表面弾性波変換手段におけるどちらか一方の第1櫛歯状電極、前記表面弾性波反射手段における他方の第2櫛歯電極および前記インピーダンス変化型センサにおける他方の端子が、互いに電気的に接続されることを特徴とする物理量検出システム。

【請求項4】
請求項1ないし請求項3のうちのいずれか1つに記載した物理量検出システムにおいて、
前記物理量特定手段、前記温度補償手段および前記高周波電気信号と前記電波とを相互に変換して無線送受信を行う送受信部をそれぞれ有したホスト装置と、
前記表面弾性波変換手段における第1櫛歯状電極に接続されて電波と前記高周波電気信号とを相互に変換する送受信アンテナとを備えることを特徴とする物理量検出システム。

【請求項5】
圧電効果を示す圧電体で構成されるとともに表面弾性波を伝播可能な圧電基板と、
前記圧電基板上にて互いに対向配置された2つの第1櫛歯状電極を有して高周波電気信号と前記表面弾性波とを相互に変換する表面弾性波変換手段と、
検出対象から受ける物理量に応じてインピーダンスが変化するインピーダンス変化型センサと、
前記圧電基板上にて互いに対向配置された2つの第2櫛歯状電極を有するとともに同2つの第2櫛歯状電極のうちの一方が前記インピーダンス変化型センサにおける一方の端子に接続されて前記表面弾性波変換手段によって励振された前記表面弾性波を反射する表面弾性波反射手段とを備えた物理量検出システムにおける物理量検出方法であって、
前記表面弾性波変換手段にて変換された前記高周波電気信号の振幅を用いて前記物理量を特定する物理量特定ステップと、
前記物理量特定手段にて前記物理量を特定する際に前記表面弾性波変換手段にて変換された前記高周波電気信号の位相変化を用いて前記物理量の温度補償を行う温度補償ステップとを含むことを特徴とする物理量検出方法。

【請求項6】
圧電効果を示す圧電体で構成されるとともに表面弾性波を伝播可能な圧電基板と、
前記圧電基板上にて互いに対向配置された2つの第1櫛歯状電極を有して高周波電気信号と前記表面弾性波とを相互に変換する表面弾性波変換手段と、
検出対象から受ける物理量に応じてインピーダンスが変化するインピーダンス変化型センサと、
前記圧電基板上にて互いに対向配置された2つの第2櫛歯状電極を有するとともに同2つの第2櫛歯状電極のうちの一方が前記インピーダンス変化型センサにおける一方の端子に接続されて前記表面弾性波変換手段によって励振された前記表面弾性波を反射する表面弾性波反射手段と、
メモリ装置を有してコンピュータプログラムを実行するコンピュータ部とを備えた物理量検出システムにおける物理量検出プログラムであって、
前記コンピュータ部に、
前記表面弾性波変換手段にて変換された前記高周波電気信号の振幅を用いて前記物理量を特定する物理量特定ステップと、
前記物理量特定ステップにて前記物理量を特定する際に前記表面弾性波変換手段にて変換された前記高周波電気信号の位相変化を用いて前記物理量の温度補償を行う温度補償ステップとを実行させることを特徴とする物理量検出プログラム。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2012193628thum.jpg
出願権利状態 登録
ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記までご連絡ください。


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close