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微小孔の検査装置およびその検査方法 実績あり

国内特許コード P130009128
掲載日 2013年4月18日
出願番号 特願2011-044138
公開番号 特開2012-181100
登録番号 特許第5688738号
出願日 平成23年3月1日(2011.3.1)
公開日 平成24年9月20日(2012.9.20)
登録日 平成27年2月6日(2015.2.6)
発明者
  • 山崎 憲
出願人
  • 学校法人日本大学
発明の名称 微小孔の検査装置およびその検査方法 実績あり
発明の概要 【課題】被検査物における微小孔の位置のみならずその大きさの検出を可能とする微小孔の検査装置および方法を提供する。
【解決手段】被検査物Aの検査領域A1の、一方の側に可聴音発生装置1を配置し、他方の側で音圧を測定する一対のマイクロホン2、3を2次元的に走査させ、出力信号をそれぞれ取り込み、取り込んだ出力信号に基づいて音響インテンシティを測定して検査領域A1の微小孔aの位置を検出し、さらに測定された音響インテンシティの傾きを算出して傾きの大きさに基づいて微小孔aの大きさを検出する。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要


従来、加工品などの被検査物を検査する手法として、例えば、被検査物の検査領域をカメラで撮影し、この撮影した画像に基づいて検査領域に形成される微小孔の良否などを検査するものが知られている。
また、加工品に孔をレーザで貫通させた場合に、その孔の貫通の有無を音響センサ(マイクロホン)を用いて検査する装置が知られている(特許文献1参照)。

産業上の利用分野


本発明は、音響インテンシティ法を用いて、加工品などの被検査物の微小孔を検査する微小孔の検査装置およびその検査方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
被検査物の検査領域上で、音圧を測定する一対のマイクロホンを走査させるマイクロホン走査手段と、
前記被検査物を挟んで前記一対のマイクロホンが配置される側とは逆側に配置されて可聴音を発生する可聴音発生手段と、
前記一対のマイクロホンの出力信号を当該一対のマイクロホンの走査中にそれぞれ取り込み、この取り込んだ出力信号に基づいて音響インテンシティを測定する音響インテンシティ測定手段と、
前記音響インテンシティ測定手段が測定した音響インテンシティの傾きを算出し、この算出した傾きの大きさに基づいて前記検査領域の微小孔の大きさを検出する微小孔検出手段と、
を備えることを特徴とする微小孔の検査装置。

【請求項2】
前記微小孔検出手段は、さらに、前記音響インテンシティ測定手段が測定した音響インテンシティに基づいて前記検査領域の微小孔の位置を検出することを特徴とする請求項1に記載の微小孔の検査装置。

【請求項3】
前記可聴音発生手段は、前記被検査物を着脱自在に構成したことを特徴とする請求項または請求項に記載の微小孔の検査装置。

【請求項4】
前記マイクロホン走査手段は、前記被検査物の検査領域上で前記マイクロホンを2次元的に走査させることを特徴とする請求項1乃至請求項のうちのいずれか1項に記載の微小孔の検査装置。

【請求項5】
被検査物の微小孔の検査方法であって、
前記被検査物の検査領域上で、音圧を測定する一対のマイクロホンを走査させるとともに、前記被検査物を挟んで前記一対のマイクロホンが配置される側とは逆側に配置した可聴音発生手段により可聴音を発生させ、前記マイクロホンが走査中に前記一対のマイクロホンの出力信号をそれぞれ取り込む第1ステップと、
前記第1ステップで取り込んだ出力信号に基づいて音響インテンシティを測定する第2ステップと、
前記第2ステップで測定した音響インテンシティの傾きを算出し、この算出した傾きの大きさに基づいて前記検査領域の微小孔の大きさを検出する第3ステップと、
を含む微小孔の検査方法。

【請求項6】
前記第3ステップでは、さらに、前記第2ステップで測定した音響インテンシティに基づいて前記検査領域の微小孔の位置を検出することを特徴とする請求項に記載の微小孔の検査方法。

【請求項7】
被検査物の検査領域上で、前記検査領域の微小孔を通して音圧を測定する一対のマイクロホンを走査させるマイクロホン走査手段と、
前記一対のマイクロホンの出力信号を当該一対のマイクロホンの走査中にそれぞれ取り込み、この取り込んだ出力信号に基づいて音響インテンシティを測定する音響インテンシティ測定手段と、
前記音響インテンシティ測定手段が測定した音響インテンシティの傾きを算出し、この算出した傾きの大きさに基づいて前記検査領域の微小孔の大きさを検出する微小孔検出手段と、
を備えることを特徴とする微小孔の検査装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 登録
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