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イオン捕捉シート、イオン捕捉モジュールおよびクリーンエア供給装置

国内特許コード P130009278
整理番号 S2012-0046-N0
掲載日 2013年5月22日
出願番号 特願2011-230528
公開番号 特開2013-086047
出願日 平成23年10月20日(2011.10.20)
公開日 平成25年5月13日(2013.5.13)
発明者
  • 和田 元
  • 田埜 芳浩
出願人
  • 学校法人同志社
  • 株式会社シックスエレメント
発明の名称 イオン捕捉シート、イオン捕捉モジュールおよびクリーンエア供給装置
発明の概要

【課題】安価な材料を用いて空気中のイオン物質を捕捉できるシートを提供する。
【解決手段】イオン捕捉シート1は、導電性の粉粒体12を絶縁体11中に分散させたもので、その一部が絶縁体11の表面に露出している。イオン捕捉シート1を正イオンまたは負イオンのいずれかのイオン物質が支配的に存在する空気中に置くと、イオン物質が絶縁体11の表面に露出した粉粒体12に捕捉される。その結果、シートの表面に電界が形成され、空気中を飛散するイオン物質の移動方向を規制するようになる。
【選択図】図1

従来技術、競合技術の概要


空気中には、固体微粒子や揮発性物質などの気体を含む多くの汚染物質が存在する。これら汚染物質の存在は、LSI、液晶、プラズマディスプレイ等の製造において、製品の信頼性や歩留まりに大きく影響する。



従来、これら空気中の汚染物質を捕捉し除去してクリーンなエアを供給するために、HEPA等の微粒子除去フィルタやケミカルフィルタが用いられてきた(特許文献1参照)。これらのフィルタのうち微粒子除去フィルタは、主に空気中の固体微粒子を除去するために用いられ、ケミカルフィルタは、化学汚染物質のイオンを除去するために用いられる。



このうちケミカルフィルタは、アンモニウムイオン、カリウムイオン等の正イオンの除去、塩化物イオン、硫酸イオン等の負イオンの除去に有効であるが、保守や交換に費用がかかるため、使用はクリーンルームなどの高度の清浄度を実現する場合に限られている。

産業上の利用分野


本発明は、空気中のイオン物質を捕捉するイオン捕捉シート、およびこのシートを用いたイオン捕捉モジュール、更には、このシートをイオン除去手段として用いたクリーンエア供給装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
導電性の粉粒体を絶縁体中に分散させ、その一部が前記絶縁体の表面に露出したシートであって、
正イオンまたは負イオンのいずれかのイオン物質が支配的に存在する空気中において、前記イオン物質が前記絶縁体の表面に露出した粉粒体に捕捉されて、その表面に電界を形成することを特徴とするイオン捕捉シート。

【請求項2】
前記粉粒体として、竹炭を破砕して微塵にしたものを用いることを特徴とする、請求項1に記載のイオン捕捉シート。

【請求項3】
前記絶縁体としてシリコンゴムを用いることを特徴とする、請求項1または2に記載のイオン捕捉シート。

【請求項4】
請求項1に記載のイオン捕捉シートと、
前記イオン捕捉シートを収容する空洞部を有するケースと、を備え、
前記ケースの外面には、前記空洞部と外気とを結ぶ複数の孔が形成され、
前記イオン捕捉シートは、前記ケースとの間に隙間を有する状態で前記ケースに支持されていることを特徴とするイオン捕捉モジュール。

【請求項5】
前記ケースは熱硬化性樹脂で作製されたものであることを特徴とする、請求項4に記載のイオン捕捉モジュール。

【請求項6】
円筒状の支持体と、
円筒状に成形され、その外周面が前記支持体の内周面に接するように配された、請求項1に記載のイオン捕捉シートと、
前記支持体の内周面に、前記イオン捕捉シートに接し、かつ円筒の軸と直交する方向に配された導電性の支持リングと、
前記支持リングの内周側に張られた導電性のメッシュと、
前記支持体の中空部に空気の流れを形成するファンと、を備え、
前記支持リングおよびメッシュは接地されていることを特徴とするクリーンエア供給装置。

【請求項7】
前記イオン捕捉シートは軸方向に複数に分割され、それぞれの間に前記支持リングが配置されていることを特徴とする、請求項6に記載のクリーンエア供給装置。

【請求項8】
前記支持体は導電性を有する材料で作製されていることを特徴とする、請求項6に記載のクリーンエア供給装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2011230528thum.jpg
出願権利状態 審査請求前
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