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積層型ワイヤグリッド及びその製造方法 コモンズ 新技術説明会

国内特許コード P130009304
整理番号 2012-015
掲載日 2013年6月7日
出願番号 特願2012-222791
公開番号 特開2014-074824
出願日 平成24年10月5日(2012.10.5)
公開日 平成26年4月24日(2014.4.24)
発明者
  • 菜嶋 茂喜
  • 半田 卓也
  • 細田 誠
出願人
  • 公立大学法人大阪市立大学
発明の名称 積層型ワイヤグリッド及びその製造方法 コモンズ 新技術説明会
発明の概要 【課題】 消光比の向上と広帯域化とを図ることができる積層型ワイヤグリッドを提供する。
【解決手段】テラヘルツ波領域の偏光成分を分離する積層型ワイヤグリッド1であって、第1ワイヤグリッド2Aと第1ワイヤグリッドに積層された第2ワイヤグリッド2Bとを備え、第1ワイヤグリッドは、適応波長よりも短い間隔dで一方向に沿って配列された複数の第1ワイヤ4Aを有し、第2ワイヤグリッドは、間隔dで一方向に沿って配列された複数の第2ワイヤ4Bを有し、複数の第1ワイヤと複数の第2ワイヤとの距離Lは、間隔d以下であることを特徴とする。
【選択図】 図1
従来技術、競合技術の概要



近年のレーザー技術の向上により、斬新なテラヘルツ波の発生方法や検出方法が次々と生み出され、それに伴って、テラヘルツ波領域における光学素子の需要が高まっている。





ワイヤグリッドは、テラヘルツ波領域の光の偏光を制御できる光学素子であり、例えば、偏光子や偏光ビームスプリッタ等として使用されている。





図19は、下記特許文献1等に開示されている従来のワイヤグリッド101の一例を示しており、(a)は正面図、(b)は側面図である。





ワイヤグリッド101は、一方向に沿って所定間隔をおいて配列した多数の金属製のワイヤ102、102、・・・の両端部を一対のドーナツ形の板状のフレーム103、103の間に挟み込んで固定したものである。なお、図面を見やすくするために、ワイヤ102、102、・・・の各々の間隔は、実際の間隔(数十μm)よりも大きくしてある。





ワイヤグリッド101は、ワイヤ102と垂直な偏光のテラヘルツ波(以下「TE波」と称する。)を透過させるが、ワイヤ102と平行な偏光のテラヘルツ波(以下「TM波」と称する。)を透過させないという特性を有している。





ワイヤグリッド101は、フレーム103内に形成される空間104にワイヤ102を張設したフリースタンド型であるため、電磁波の多重反射や吸収がほとんど無く、効率的な偏光子である。

産業上の利用分野



本発明は、テラヘルツ波領域の偏光成分を分離する積層型ワイヤグリッドの改良に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
テラヘルツ波領域の偏光成分を分離する積層型ワイヤグリッドであって、
第1ワイヤグリッドと前記第1ワイヤグリッドに積層された第2ワイヤグリッドとを備え、
前記第1ワイヤグリッドは、適応波長よりも短い間隔dで一方向に沿って配列された複数の第1ワイヤを有し、前記第2ワイヤグリッドは、前記間隔dで前記一方向に沿って配列された複数の第2ワイヤを有し、
前記複数の第1ワイヤと前記複数の第2ワイヤとの距離Lは、間隔d以下である、積層型ワイヤグリッド。

【請求項2】
前記第1ワイヤグリッドは、矩形枠状の第1フレームを備え、
前記複数の第1ワイヤは、前記第1フレームの一方の面を縦断するように前記第1フレームに張設されており、
前記複数の第1ワイヤの各々の両端は、前記第1フレームの側面に沿って折曲されると共に前記第1フレームの前記側面に固定されており、
前記第2ワイヤグリッドは、矩形枠状の第2フレームを備え、
前記複数の第2ワイヤは、前記第2フレームの一方の面を縦断するように前記第2フレームに張設されており、
前記複数の第2ワイヤの各々の両端は、前記第2フレームの側面に沿って折曲されると共に前記第2フレームの前記側面に固定されている、請求項1に記載の積層型ワイヤグリッド。

【請求項3】
前記複数の第1ワイヤと前記複数の第2ワイヤとの前記一方向における相対的なシフト量は0.5×間隔dであり、
前記複数の第1ワイヤと前記複数の第2ワイヤとは、直径aを有し、
距離L=直径aである、請求項1又は請求項2に記載の積層型ワイヤグリッド。

【請求項4】
直径a/間隔d=0.5である、請求項3に記載の積層型ワイヤグリッド。

【請求項5】
矩形枠状の第1フレームと矩形枠状の第2フレームとを積層して備えたフレーム積層体を準備する準備工程と、
前記フレーム積層体の両主面と両側面とを巻き込むように前記フレーム積層体に長尺のワイヤを複数回巻回する巻回工程と、
前記ワイヤを前記第1フレームの両側面と前記第2フレームの両側面とに固定する固定工程と、
前記第1フレームと前記第2フレームとの境界面に沿って前記フレーム積層体を分断し、第1ワイヤグリッドと第2ワイヤグリッドとを得る分断工程と、
前記第1ワイヤグリッドの有する前記ワイヤの縦断面と、前記第2ワイヤグリッドの有する前記ワイヤの縦断面とを対向させて、前記第1ワイヤグリッドと前記第2ワイヤグリッドとを積層する積層工程とを包含し、
適応波長よりも短い間隔dで一方向に沿って配列された複数の第1ワイヤを有する前記第1ワイヤグリッドと、前記間隔dで前記一方向に沿って配列された複数の第2ワイヤを有する前記第2ワイヤグリッドとを、前記複数の第1ワイヤと前記複数の第2ワイヤとの距離Lが前記間隔d以下となるように積層した積層型ワイヤグリッドを得る、
積層型ワイヤグリッドの製造方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2012222791thum.jpg
出願権利状態 公開


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