TOP > 国内特許検索 > 微細構造体の作製方法

微細構造体の作製方法 外国出願あり

国内特許コード P130009559
整理番号 2681
掲載日 2013年7月10日
出願番号 特願2011-536166
登録番号 特許第5458241号
出願日 平成22年10月14日(2010.10.14)
登録日 平成26年1月24日(2014.1.24)
国際出願番号 JP2010068047
国際公開番号 WO2011046169
国際出願日 平成22年10月14日(2010.10.14)
国際公開日 平成23年4月21日(2011.4.21)
優先権データ
  • 特願2009-237709 (2009.10.14) JP
発明者
  • 鈴木 孝明
  • 小寺 秀俊
  • 神野 伊策
  • 平丸 大介
出願人
  • 国立大学法人京都大学
  • 国立大学法人 香川大学
発明の名称 微細構造体の作製方法 外国出願あり
発明の概要 複雑な立体形状の微細構造体を少ない工程で形成することができる微細構造体の作製方法を提供する。
未露光の感光性樹脂42に沿って、透光部と遮光部とを含む第1のマスクパターン22を配置するとともに、第1のマスクパターン22に関して感光性樹脂42とは反対側に、透光部と遮光部とを含む第2のマスクパターン32を配置する。次いで、感光性樹脂42及び第1のマスクパターン22を貫通する中心軸Zを中心に、感光性樹脂42及び第1のマスクパターン22を一体回転させながら、第2のマスクパターン32に関して感光性樹脂42及び第1のマスクパターン22とは反対側から、中心軸Zの方向に対して斜めに傾いた方向から露光光を照射することにより、第2のマスクパターン32の透光部と第1のマスクパターン22の透光部とを透過した露光光の光束を、感光性樹脂42に露光する。
従来技術、競合技術の概要



従来、マスクパターンと光硬化性樹脂とを用いて、微小な3次元立体形状を形成する手法が種々提案されている。





例えば図18に示すように、マスクパターン222が形成された透明なマスク板221上の光硬化性樹脂223に、矢印224a,224bで示すように異なる方向から露光し、光硬化性樹脂223の未露光部分224kを除去することによって立体形状を形成する、傾斜露光法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。





また、図19の説明図に示すように露光方向に対して中心軸を傾斜させた回転ステージ上に光硬化性樹脂(SU-8)とマスク板とを載置して露光を行う回転傾斜露光法により、図20の写真に示すように格子状に配列され林立する微細構造体を三次元加工した試作例が開示されている(例えば、非特許文献1参照)。回転傾斜露光法で用いるマスクパターンを工夫すると、ノズル形状や3次元分岐する流路構造などを形成することができる(例えば、特許文献2参照)。





その他の方法として、特殊な光源を移動させながら立体形状を描く直接描画法や、多数のマスクを用いた多段露光法を組み合わせる方法などが提案されている。





傾斜露光法や回転傾斜露光法は、一度の露光で作製でき、工程が少なく、大がかりな設備も不要であり、他の方法と比べ、微細構造体を低コストで製造できる。

産業上の利用分野



本発明は、微細構造体の作製方法に関し、詳しくは、マスクパターンを介して感光性樹脂に露光することにより、微小な3次元立体形状を有する微細構造体を作製する方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
未露光の感光性樹脂に沿って、光が透過する透過量が相対的に大きい透光部と光が透過する透過量が相対的に小さい遮光部とを含む第1のマスクパターンを配置するとともに、前記第1のマスクパターンに関して前記感光性樹脂とは反対側に、光が透過する透過量が相対的に大きい透光部と光が透過する透過量が相対的に小さい遮光部とを含む第2のマスクパターンを配置する第1の工程と、
前記感光性樹脂及び前記第1のマスクパターンを貫通する中心軸を回転中心として、前記感光性樹脂及び前記第1のマスクパターンを一体回転させながら、前記第2のマスクパターンに関して前記感光性樹脂及び前記第1のマスクパターンとは反対側で、前記中心軸の方向に対して傾斜した方向から露光光を照射することにより、前記第2のマスクパターンと前記第1のマスクパターンとを透過した前記露光光の光束を、前記感光性樹脂に露光する第2の工程と、
を備えたことを特徴とする、微細構造体の作製方法。

【請求項2】
前記感光性樹脂及び前記第1のマスクパターンは互いに接し、かつ前記感光性樹脂及び前記第1のマスクパターンの界面が前記中心軸に垂直な平面であり、
前記第2の工程において、前記第2のマスクパターンは、前記第1のマスクパターンと平行に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の微細構造体の作製方法。

【請求項3】
前記第2のマスクパターンの前記透光部は、前記中心軸を中心とする円の径方向に延在する一対の線分の間に連続して形成された扇状の形状を有する扇状透光部を含むことを特徴とする、請求項2に記載の微細構造体の作製方法。

【請求項4】
前記感光性樹脂は、光硬化性樹脂であり、
前記第1のマスクパターンの前記透光部は、前記中心軸と同心に、かつ前記中心軸を中心とする円の周方向に間隔を設けて配置された複数の微小な第1透光部を含み、
前記第2のマスクパターンの前記透光部は、前記中心軸を含みかつ前記露光光の方向と平行な仮想平面に直交し、かつ前記中心軸と前記第2のマスクパターンとが交わる中心点を通る仮想線上の前記仮想平面に関して両側に形成された一対の第2透過部を含み、
前記第2の工程において、前記第2透光部と前記第1透光部とを通過した前記露光光の光束によって、前記光硬化性樹脂は、前記中心軸と同心に延在する網目状に露光されることを特徴とする、請求項2に記載の微細構造体の作製方法。
産業区分
  • 写真映画
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2011536166thum.jpg
出願権利状態 登録
ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記までご連絡ください。


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close