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非接触チャック コモンズ 新技術説明会

国内特許コード P130009787
掲載日 2013年8月13日
出願番号 特願2004-253138
公開番号 特開2006-073654
登録番号 特許第4376737号
出願日 平成16年8月31日(2004.8.31)
公開日 平成18年3月16日(2006.3.16)
登録日 平成21年9月18日(2009.9.18)
発明者
  • 吉本 成香
出願人
  • 学校法人東京理科大学
発明の名称 非接触チャック コモンズ 新技術説明会
発明の概要

【課題】 ワークを水平方向に保持するためにチャックの外周部に設けられる止め用具の適用を廃止できる非接触チャックを得る。
【解決手段】 非接触チャック10では、ワークは、真空ポンプ24の吸引力によってチャック本体12のワーク保持面18に吸引される。このチャック本体12は、超音波振動子26が発生する超音波によって超音波振動するので、ワーク保持面18には、所謂「超音波スクイーズ効果」によってワーク支持力(所謂「スクイーズ空気膜圧力」)が発生する。ここで、この非接触チャック10では、上記ワーク支持力とワークの重量との和と、真空ポンプ24によるワークの吸引力とがバランスするようになっている。これにより、ワークは、ワーク保持面18に対して非接触状態で保持される。しかも、ワークは、「超音波スクイーズ効果」による保持力によって、ワーク保持面18に対して水平方向にも保持される。
【選択図】 図1

従来技術、競合技術の概要


従来、ICチップや小型レンズ、半導体ウェハなどのワークを取り扱う際には、空気の吹き出しに伴うベルヌーイ効果を利用した非接触チャックが利用されている(例えば、特許文献1参照)。このような非接触チャックでは、ワークに直接触れることなく搬送・据え付けなどを行うことができるため、ワークに塵埃などが付着することを防止できる。



しかしながら、このような非接触チャックの場合、ワークに対する水平方向の保持力はないので、チャックの外周部に止め用具を設けてワークがチャックから脱落することを防止している。このため、上記止め用具に付着した塵埃などがワークに付着する可能性があり、更なる改良が求められていた。

【特許文献1】特開平5-285876号公報

産業上の利用分野


本発明は、非接触状態でワークを保持する非接触チャックに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
ワークを保持するワーク保持面が先端に形成されると共に、一端が前記ワーク保持面に開口した吸引通路が穿設されたチャック本体と、
超音波を発生させて前記チャック本体を超音波振動させる超音波発生手段と、
前記ワークの重量と超音波振動によって前記チャック本体に発生するワーク支持力との和と吸引力とがバランスするように前記吸引通路を介して吸引する吸引手段と、
を含む非接触チャック。

【請求項2】
前記吸引手段は、前記吸引通路の他端に接続された真空ポンプである請求項1記載の非接触チャック。

【請求項3】
前記ワーク保持面の形状を、前記ワークの外形に対応させて形成した請求項1記載又は請求項2記載の非接触チャック。

【請求項4】
前記ワーク保持面の形状を、前記ワークの外形と相似形に形成した請求項1乃至請求項3の何れか1項記載の非接触チャック。

【請求項5】
前記ワーク保持面の形状を、四角形、円形、または凹面状に形成した請求項1乃至請求項4の何れか1項記載の非接触チャック。
産業区分
  • 固体素子
  • その他運輸
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2004253138thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
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