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X線照射型イオナイザ

国内特許コード P140010827
整理番号 1277
掲載日 2014年8月8日
出願番号 特願2006-262399
公開番号 特開2008-084656
登録番号 特許第4839475号
出願日 平成18年9月27日(2006.9.27)
公開日 平成20年4月10日(2008.4.10)
登録日 平成23年10月14日(2011.10.14)
発明者
  • 河合 潤
  • 細川 好則
  • 岡本 茂雄
出願人
  • 国立大学法人京都大学
  • 株式会社エックスレイプレシジョン
発明の名称 X線照射型イオナイザ
発明の概要 【課題】この発明は、X線を利用した、X線照射型イオナイザに関する。
【解決手段】この発明のX線照射型イオナイザ1は、外部の気体を給排可能な気体給排口2とX線を透過可能な照射窓3とを、その内部が低圧気密状態に保持可能な気密筺体4に具備するX線照射型イオナイザ1において、該気密筺体4内部に前記照射窓3と略平行に配設された絶縁体5と、該絶縁体5と前記照射窓3の間に該絶縁体5と対向するように配設されて該絶縁体5に電圧を印加してその表面を帯電させる繊条電極6と、を具備し、必要に応じて、前記照射窓3の周縁部に沿って外側へ突出する、X線の飛散を防止すると共に該照射窓3を保護するための保護部材7を備えている。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要



電子デバイス、例えば液晶パネルやプラズマディスプレイパネル等の製造工程においてはクーンルーム下で行われており、これらの製造工程において静電気が発生した際には、電子デバイスを構成する絶縁体が電気的に破壊されて絶縁性を失う、いわゆる絶縁破壊の問題や、電子デバイスを構成する半導体回路に空気中を浮遊する微粒子が吸引付着して短絡を引き起こす問題等につながり、このような静電気に起因する問題が、電子デバイス等の歩留まりを低下させる大きな原因となっている。その他にも、粉体梱包作業時や、液晶ディスプレイに用いられる光学フィルムの製造ラインにおける該光学フィルムの搬送工程においても、静電気による不純物の混入等に起因する問題が生じている。





これらの静電気に起因する問題を未然に防止すべく、静電気を除電するための除電装置が必要となるが、これらに使用される除電装置としては、繊維やワイヤーの先端などに高電圧を印加した際に生じるコロナ放電を利用したコロナ放電式イオナイザが使用されている。また、図6に示すような、従来のX線式イオナイザ100においても、一方に流入口101が、また他方に照射口102が形成される筒体の流路シールド部103と、流路シールド部103内にX線を照射するX線照射装置104と、流路シールド部103の流入口101側に配置され、流路シールド部103内へ矢印105方向へ送風する送風部106と、を備え、X線の最も照射口102側にある照射領域限界線107と、流路シールド部103の照射口102の開口面と、が略平行であって、他は流入口101側へ近づくようにX線を流路シールド部103内壁へ向けて照射してX線照射領域108を形成し、このX線照射領域内108で生成したイオンを照射口102から被除電物109へ照射するものが考案されている(例えば、特許文献1)。そして、それらに用いられる従来のX線発生装置は、金属ターゲットに熱電子を衝突させることでX線を発生させる熱電子加速式X線管が多く採用されている。





【特許文献1】

開平2005-243325号公報

産業上の利用分野



この発明は、X線を利用した、X線照射型イオナイザに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
内部が低圧気密状態に保持可能な気密筺体に外部の気体を給排可能な気体給排口とX線を透過可能な照射窓とを具備するX線照射型イオナイザにおいて、
該気密筺体内部に前記照射窓と略平行に配設された絶縁体と、
該絶縁体と前記照射窓の間に該絶縁体と対向するように配設されて該絶縁体に電圧を印加してその表面を帯電させる繊条電極と、
を具備することによって、前記照射窓の外側の気体をイオン化することを特徴とするX線照射型イオナイザ。

【請求項2】
前記照射窓がアルミニウムであることを特徴とする請求項1記載のX線照射型イオナイザ。

【請求項3】
前記照射窓の周縁部にX線の飛散を防止すると共に該照射窓を保護するための保護部材を備えたことを特徴とする請求項2記載のX線照射型イオナイザ。

【請求項4】
前記保護部材が前記照射窓の周縁部に沿って外側へ突出する枠体であることを特徴とする請求項3記載のX線照射型イオナイザ。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2006262399thum.jpg
出願権利状態 登録
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