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分光特性測定装置及びその調整方法

国内特許コード P150011316
整理番号 S2014-1304-N0
掲載日 2015年2月17日
出願番号 特願2015-015735
公開番号 特開2016-142523
出願日 平成27年1月29日(2015.1.29)
公開日 平成28年8月8日(2016.8.8)
発明者
  • 石丸 伊知郎
出願人
  • 国立大学法人 香川大学
発明の名称 分光特性測定装置及びその調整方法
発明の概要 【課題】鮮明なインターフェログラムを取得可能な分光特性測定装置を提供する。
【解決手段】並んで配置された固定反射面201及び可動反射面301と、被測定物の測定点から発せられた測定光を固定反射面201と可動反射面301に導く対物レンズ10と、固定反射面201及び可動反射面301によって反射された測定光をそれぞれ結像面上に集光させる結像レンズ12と、結像面上に2次元配置された複数の検出画素を有するCCDカメラ13と、可動反射面301を移動させることによりCCDカメラ13で検出される光強度変化に基づき、測定光のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部141とを備えた分光特性測定装置において、
CCDカメラ13の検出結果に基づき固定反射面201に対して可動反射面301が相対的に傾いているか否かを判別する判別部142とを備えることを特徴とする。
【選択図】図5
従来技術、競合技術の概要


分光特性の測定技術の一つに結像型2次元フーリエ分光法と呼ばれる手法がある(特許文献1参照)。この手法では、図1に示すように、試料面(物体面)から発せられる無指向の光(測定光)を対物レンズにより平行光束にした上で、固定ミラー部と可動ミラー部から成る位相シフタに照射し、両ミラー部で反射された測定光(反射光)をそれぞれ結像レンズにより結像面上の同一点に集光させる。可動ミラー部を移動させて固定ミラー部で反射された測定光と可動ミラー部で反射された測定光の間に光路長差を付与することにより、結像面上に集光した測定光が干渉し、該測定光の干渉光を形成する。この干渉光の強度を、結像面上に配置されたCCDカメラなどの2次元アレイデバイスの各画素において検出することにより、干渉光強度変化であるインターフェログラムが取得され、このインターフェログラムを数学的にフーリエ変換することにより測定光の分光特性(スペクトル)が取得される。

産業上の利用分野


本発明は、被測定物から発せられる透過光や反射光、蛍光等の測定光の分光特性を測定するための分光特性測定装置及びその調整方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
a) 並んで配置された固定反射面及び可動反射面と、
b) 被測定物の測定点から発せられた測定光を前記固定反射面と前記可動反射面に導く導入光学系と、
c) 前記固定反射面に導入され該固定反射面によって反射された測定光と、前記可動反射面に導入され該可動反射面によって反射された測定光をそれぞれ結像面上に集光させる結像光学系と、
d) 前記結像面上に2次元配置された複数の検出画素を有する、前記結像面上に集光した光の強度を検出するための光検出部と、
e) 前記可動反射面を移動させることにより前記光検出部で検出される光強度変化に基づき、前記測定光のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部とを備えた分光特性測定装置において、
前記光検出部の検出結果に基づき前記固定反射面に対して前記可動反射面が相対的に傾いているか否かを判別する判別手段と
を備えることを特徴とする分光特性測定装置。

【請求項2】
さらに、
前記可動反射面に平行な第1軸周りの該可動反射面の傾き量を調整するための第1治具と、前記第1軸に垂直で且つ前記固定反射面に平行な第2軸周りの該固定反射面の傾き量を調整するための第2治具とを備えることを特徴とする請求項1に記載の分光特性測定装置。

【請求項3】
前記被測定物の表面に設置される、ピンホールを有する調整部材を備え、
前記導入光学系が、前記ピンホールを通して発せられた測定光を前記固定反射面と前記可動反射面に導くことにより、前記結像面上に形成される輝点像の位置に基づき、前記判別手段は前記固定反射面に対して前記可動反射面が相対的に傾いているか否かを判別することを特徴とする請求項1又は2に記載の分光特性測定装置。

【請求項4】
a) 並んで配置された固定反射面及び可動反射面と、
b) 被測定物の測定点から発せられた測定光を前記固定反射面と前記可動反射面に導く導入光学系と、
c) 前記固定反射面に導入され該固定反射面によって反射された測定光と、前記可動反射面に導入され該可動反射面によって反射された測定光をそれぞれ結像面上に集光させる結像光学系と、
d) 前記結像面上に2次元配置された複数の検出画素を有する、前記結像面上に集光した光の強度を検出するための光検出部と、
e) 前記可動反射面を移動させることにより前記光検出部で検出される光強度変化に基づき、前記測定光のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部とを備えた分光特性測定装置において、
前記光検出部の検出結果に基づき前記固定反射面に対する前記可動反射面の相対的な傾きを調整することを特徴とする分光特性測定装置の調整方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2015015735thum.jpg
出願権利状態 公開


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