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磁気特性測定方法

国内特許コード P150012257
掲載日 2015年9月4日
出願番号 特願2013-198163
公開番号 特開2015-064280
出願日 平成25年9月25日(2013.9.25)
公開日 平成27年4月9日(2015.4.9)
発明者
  • 矢野 正雄
  • 小野 寛太
出願人
  • トヨタ自動車株式会社
  • 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
発明の名称 磁気特性測定方法
発明の概要 【課題】磁性材料を構成している多結晶バルク体における、結晶粒単位での磁気特性を測定することが可能な方法を提供する。
【解決手段】X線を試料に照射し、試料を透過したX線を検出することにより試料の磁気特性を測定する方法であって、X線を透過させる方向の試料の厚みが50~1000nmであることを特徴とする方法。
【選択図】図3
従来技術、競合技術の概要



試料の観察域に励起光又は電子線からなる入射ビームを照射し、試料の表面から放出される放出電子を介して、試料の表面近傍の性状又は構造を観察、解析、分析等を行うことが知られていた。ところが、従来の方法では熱消磁もしくは磁場消磁させた状態の試料を用いて観察しているにすぎず、永久磁石等を着磁した状態で観察した例は報告されていなかった。そこで、磁性材料の磁気特性を観察する方法として、試料に放射光等の入射ビームを照射し、試料から放出された放出電子を検出して、試料の微細状況を示す観察像を形成する方法が提案されている(特許文献1参照)。

産業上の利用分野



本発明は、磁性材料の磁気特性を測定する方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
X線を試料に照射し、試料を透過したX線を検出することにより試料の磁気特性を測定する方法であって、X線を透過させる方向の試料の厚みが50~1000nmであることを特徴とする方法。

【請求項2】
前記X線が円偏光X線である、請求項1記載の方法。

【請求項3】
試料の同一の部位に右回り円偏光X線と左回り円偏光X線を入射させ、この右回り円偏光と左回り円偏光の入射におけるX線の吸収の差である磁気円二色性を検出し、これにより試料の磁気特性を測定することを特徴とする、請求項2記載の方法。

【請求項4】
偏光の向きに対し試料の磁場の方向とその反対の方向のX線の吸収の差を検出し、これにより試料の磁気特性を測定することを特徴とする、請求項2記載の方法。

【請求項5】
前記試料が、集束イオンビームを用いてエッチングすることにより、50~1000nmの厚みに加工される、請求項1~4のいずれか1項に記載の方法。

【請求項6】
磁場中において測定を行うことを特徴とする、請求項1~5のいずれか1項に記載の方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2013198163thum.jpg
出願権利状態 公開
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