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白色干渉計装置による表面形状の測定方法

国内特許コード P150012295
整理番号 S2014-0054-N0
掲載日 2015年9月9日
出願番号 特願2013-215565
公開番号 特開2015-078879
出願日 平成25年10月16日(2013.10.16)
公開日 平成27年4月23日(2015.4.23)
発明者
  • 伊藤 雅英
  • 雷 楓
出願人
  • 国立大学法人 筑波大学
発明の名称 白色干渉計装置による表面形状の測定方法
発明の概要 【課題】比較的少ない個数のデータに基づいて、被測定物の測定対象表面の高さ、測定対象表面の表面形状を、高速および高精度で測定可能とする。
【解決手段】白色干渉計装置1で被測定物12を測定するサンプリング間隔を設定し、被測定物12における測定対象表面の特定箇所を、設定したサンプリング間隔で複数回撮像し、該複数回の撮像で得た画像データを、偶数番目の画像データの偶数データセットと、奇数番目の画像データの奇数データセットとに分け、偶数データセットと奇数データセットのそれぞれから被測定物12における測定対象表面である特定箇所の濃度値を取得して変調波形を得て、そのうちコントラストの高い方の変調波形を選択し、選択した変調波形を、フーリエ変換によって補間し、補間された変調波形のピーク位置から被測定物12の特定箇所の高さに係るデータを求める。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要



従来、被測定物の測定対象箇所の高さ、長さ等を含め表面形状を測定する白色干渉計装置は周知である(特許文献1~3、非特許文献1等参照)。

産業上の利用分野



本発明は、白色干渉計装置による被測定物の表面形状の測定方法に関する。即ち、本発明は、白色光源を用いて干渉を利用し被測定物の高さ、長さ等を含め表面形状を短時間で測定とする白色干渉計装置による表面形状の測定方法に関する発明である。





より詳しくは、本発明は、白色干渉計装置によって、被測定物の測定対象表面をサンプリングして得た白色干渉信号に基づく変調波形を補間し、変調波形のピーク位置を求め、該ピーク位置を利用して、表面形状の測定を行う測定方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
白色干渉計装置で被測定物を測定するサンプリング間隔を設定し、
被測定物における測定対象表面の特定箇所を、設定したサンプリング間隔で複数回撮像し、該複数回の撮像で得た画像データを、偶数番目の画像データの偶数データセットと奇数番目の画像データの奇数データセットに分け、
偶数データセットにおけるサンプリング毎の前記特定箇所の濃度値に基づき変調波形を取得し、偶数データセットにおけるサンプリング毎の前記特定箇所の濃度値に基づき変調波形を取得し、偶数データセットと奇数データセットから得た変調波形のうち、コントラストの高い方の変調波形を選択し、
選択した変調波形を、フーリエ変換を行って補間し、補間された変調波形のピーク位置から被測定物の測定対象表面の特定箇所の高さに係るデータを求めることを特徴とする白色干渉計装置による表面形状の測定方法。

【請求項2】
補間された変調波形をアンチエイリアシングすることを特徴とする請求項1に記載の白色干渉計装置による表面形状の測定方法。

【請求項3】
アンチエイリアシングは、選択した変調波形のサンプリング間隔を、コサイン関数で示される搬送波の周期の倍数にすることによって、搬送波の周波数を遮断することを特徴とする請求項2に記載の白色干渉計装置による表面形状の測定方法。

【請求項4】
被測定物における測定対象表面の特定箇所の高さに係るデータを、複数の特定箇所について求めることにより被測定物における測定対象表面の表面形状を測定することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の白色干渉計装置による表面形状の測定方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2013215565thum.jpg
出願権利状態 公開
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