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無端状パターンの製造方法、樹脂パターン成形品の製造方法、無端状モールド、及び光学素子 コモンズ 新技術説明会

国内特許コード P160013308
整理番号 T2009-025
掲載日 2016年9月23日
出願番号 特願2009-190533
公開番号 特開2011-043590
登録番号 特許第5544789号
出願日 平成21年8月19日(2009.8.19)
公開日 平成23年3月3日(2011.3.3)
登録日 平成26年5月23日(2014.5.23)
発明者
  • 谷口 淳
出願人
  • 学校法人東京理科大学
発明の名称 無端状パターンの製造方法、樹脂パターン成形品の製造方法、無端状モールド、及び光学素子 コモンズ 新技術説明会
発明の概要 【課題】無端状モールド等に適用し得るSOGの無端状パターンを電子ビーム又はイオンビームの照射により作製する方法の提供。SOG無端状モールドを用いる樹脂パターン成形品の製造方法の提供。SOG無端状モールド及び光学素子の提供。
【解決手段】本発明のSOGの無端状パターン作製方法は、円周方向において無端のアルミニウム基板上に、SOG(Spin-On-Grass)レジスト液膜を付与する工程と、前記SOGレジスト液膜を有するアルミニウム基板を加熱してSOGレジストを焼成する工程と、前記焼成後、SOGレジストを有するアルミニウム基板を冷却する工程と、前記冷却後、SOGレジストを有するアルミニウム基板を回転方向に回転させる工程と、前記基板上のSOGレジストに電子ビーム又はイオンビームを照射する工程と、前記照射により又は前記照射後の現像により、前記SOGレジストの一部を除去する工程と、を有する。
【選択図】なし
従来技術、競合技術の概要


ナノインプリント技術において、より一層の効率化、低コスト化、大面積化をはかる技術展開としてローラ転写方式が注目されている。



ローラ転写方式で用いられるモールドの従来の作製方法としては、めっきや樹脂などの微細パターンを有する膜を円筒状基板に巻き付ける方法や、機械加工による方法、レーザー加工による方法などが存在する。



しかし、前記巻き付けの方法では、つなぎ目が発生するという問題点がある。前記機械加工による方法では、加工工具が摩耗するため長時間加工すると形状が変化し、また溝状のパターンしか形成できない。前記レーザー加工の方法では、ビーム径をナノオーダーまで絞ることができず、ナノオーダーのパターンを有する無端状モールドの作製は困難である。



一方、電子ビームの照射方法としては、ディスクを回転させながら電子ビームを照射する方法(例えば、非特許文献1参照)や、曲面上に電子ビームを照射する方法(例えば、非特許文献2参照)が提案されている。

産業上の利用分野


本発明は、SOGの無端状モールドを形成する無端状パターンの製造方法、樹脂パターン成形品の製造方法、無端状モールド、及び光学素子に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
円周方向において無端のアルミニウム基板上に、SOG(Spin-On-Grass)レジスト液膜を付与する工程と、
前記SOGレジスト液膜を有するアルミニウム基板を加熱してSOGレジストを焼成する工程と、
前記焼成後、SOGレジストを有するアルミニウム基板を冷却する工程と、
前記冷却後、SOGレジストを有するアルミニウム基板を回転方向に回転させる工程と、
前記基板上のSOGレジストに電子ビーム又はイオンビームを照射する工程と、
前記照射により又は前記照射後の現像により、前記SOGレジストの一部を除去する工程と、
を有する無端状パターンの製造方法。

【請求項2】
前記基板を回転方向に回転させながら、前記電子ビーム又はイオンビームを前記SOGレジストに照射する請求項1に記載の無端状パターンの製造方法。

【請求項3】
前記電子ビーム又はイオンビームの前記基板に対する入射角を、基板の回転方向でプラス、逆回転方向でマイナスとしたとき、前記入射角が、-60°以上+60°以下である請求項1又は請求項2に記載の無端状パターンの製造方法。

【請求項4】
請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の製造方法により形成された無端状モールド。

【請求項5】
請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の製造方法により得られた無端状モールドを成形用の型として用い、該無端状モールドに樹脂を押し付けて型を転写する工程と、
押し付けた前記無端状モールドと前記樹脂とを剥離する工程と、
を有する樹脂パターン成形品の製造方法。

【請求項6】
請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の製造方法により得られた無端状モールドを有する光学素子。
国際特許分類(IPC)
Fターム
出願権利状態 登録
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