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非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置 (未公開特許出願)

国内特許コード P170014049
整理番号 S2016-1122-N0
掲載日 2017年4月21日
出願番号 特願2016-230510
出願日 平成28年11月28日(2016.11.28)
発明の名称 非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置 (未公開特許出願)
発明の概要 真空排気能力(非蒸発ゲッタ性能)の低下が生じにくく、より内径が小さい容器にも適用できて、非蒸発ゲッタ活性化温度が185℃より低い、非蒸発ゲッタコーティング部品及び容器、並びに該部品及び容器の製造方法及び製造装置


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