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酸化ガリウムの製造方法及び結晶成長装置 (未公開特許出願) NEW

国内特許コード P170014137
整理番号 S2017-0070-N0
掲載日 2017年5月12日
出願番号 特願2016-213949
出願日 平成28年11月1日(2016.11.1)
出願人
  • 和歌山大学
発明の名称 酸化ガリウムの製造方法及び結晶成長装置 (未公開特許出願) NEW
発明の概要 次世代パワー半導体材料である酸化ガリウムの薄膜作製方法として有力なミストCVD法において,不純物である炭素を全く含まない原料の作製方法と薄膜形成方法


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