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軟X線分光装置

国内特許コード P170014196
整理番号 7600
掲載日 2017年6月14日
出願番号 特願2009-002068
公開番号 特開2010-160034
登録番号 特許第5484737号
出願日 平成21年1月7日(2009.1.7)
公開日 平成22年7月22日(2010.7.22)
登録日 平成26年2月28日(2014.2.28)
発明者
  • ▲徳▼島 高
出願人
  • 国立研究開発法人理化学研究所
発明の名称 軟X線分光装置
発明の概要 【課題】 試料から軟X線分光装置に向う軟X線をできるだけ多く回折格子に入射させて、検出される軟X線の強度を高めた軟X線分光装置を提供する。
【解決手段】 入射する軟X線を回折する回折格子と、回折格子によって回折された軟X線を検出する検出器とを備える軟X線分光装置おいて、回折格子に入射する軟X線の中心光線を挟み、回折格子に垂直で中心光線を含む平面に平行かつ中心光線に垂直な方向の曲率が0の一対のミラーを備えて、回折格子の傍らに向って進む軟X線を、ミラーによって反射して回折格子に入射させる。
【選択図】 図1
従来技術、競合技術の概要


軟X線発光分光法は、X線または電子線を試料に照射して、発生する軟X線を分光分析する方法であり、試料に含まれる物質の電子状態を知ることができる。しかしながら、試料における軟X線発光は等方的に生じる発光現象、つまり、光学的には発散光源となる。このため、分析に用いられる軟X線分光装置では、試料が発する全軟X線のうち、限れた方向に進む一部のみが検出されることになる。



軟X線分光装置には、分光を行うための回折格子と、分光後の軟X線を検出するための検出器とが備えられる(たとえば特許文献1参照)。従来の軟X線分光装置の構成を図9に示す。軟X線分光装置は、回折格子91と検出器92とを備え、試料Sに対してX線または電子線が照射される。図9において、(a)は回折格子91に垂直な平面に沿って見た平面図、(b)は側面図である。可視光に比べて遥かに短波長である軟X線(波長1nm程度)のための回折格子91は、図9(b)に示したように、入射角が極めて大きい(90°に近い)斜入射配置にする必要がある。



なお、図示しないが、分解能を高めるために、試料から回折格子91に至る軟X線の光路に、軟X線の線束の幅を回折方向(回折格子に垂直な方向)において制限するスリットを配置したり、励起のために照射するX線または電子線を微小なスポットに収束させる光学系を、試料の前に配置したりしている。後者は、スリットレス分光装置と呼ばれており、スリットを備える構成と同等の分解能でありながら、試料からの軟X線の利用効率が高く、したがって検出感度が高い。

産業上の利用分野


本発明は、軟X線分光装置に関し、特に、軟X線分光装置における入射軟X線の利用効率を向上させる分光装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
入射する軟X線を回折する回折格子と、前記回折格子によって回折された軟X線を検出する検出器とを備える軟X線分光装置であって、
前記回折格子に入射する軟X線の中心光線を挟み、前記回折格子に垂直で前記中心光線を含む平面に平行かつ前記中心光線に垂直な方向の曲率が0の一対のミラーを備え
前記一対のミラーが、前記平面に平行かつ前記中心光線に垂直な方向に軸を有する円筒凹面ミラーであり、
前記一対のミラーの、前記平面に平行かつ前記中心光線に垂直な方向周りの角および前記中心光線の進行方向周りの角のうちの少なくとも一方が調整可能に構成されていることを特徴とする軟X線分光装置。

【請求項2】
前記一対のミラーが前記平面に関して対称であることを特徴とする請求項1記載の軟X線分光装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2009002068thum.jpg
出願権利状態 登録
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