TOP > 国内特許検索 > 液体濃度センサ

液体濃度センサ NEW

国内特許コード P170014358
整理番号 S2016-0023-N0
掲載日 2017年6月30日
出願番号 特願2015-222372
公開番号 特開2017-090310
出願日 平成27年11月12日(2015.11.12)
公開日 平成29年5月25日(2017.5.25)
発明者
  • 安部 隆
  • 須佐 翼
出願人
  • 国立大学法人 新潟大学
発明の名称 液体濃度センサ NEW
発明の概要 【課題】測定対象の液体のサイズが大きい場合にも安定して液体濃度を測定する。
【解決手段】本発明に係る液体濃度センサ10は、振動子13と、振動子13に直列に接続するコンデンサユニット16とを備え、コンデンサユニット16は、第1コンデンサ11と、第1コンデンサ11に並列に接続する第2コンデンサ12とを有し、第2コンデンサ12の電極間に測定対象の液体が配置される。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要


液体濃度を測定するためのセンサとして様々な種類のセンサが知られている。例えば、エッチング液などの液体の濃度を、コイルを用いて測定するセンサが知られている(特許文献1参照)。



コイルを用いた液体濃度センサは、一般的に高感度である。しかしながら、コイルを用いた液体濃度センサは、高額であること、測定対象のサイズ形状が限定されること、また、オーダーメイド対応が困難であること、などの問題点がある。



上述の問題点を解消することができる液体濃度センサとして、水晶振動子などの振動子と、コンデンサとを直列に接続して構成した液体濃度センサが知られている。この構成の液体濃度センサは、安価な汎用品のみを用いて構成することができ、また、どのような形状で構成するかに対する自由度も高い。



振動子とコンデンサとを直列に接続して構成した液体濃度センサは、コンデンサの電極間に測定対象である液体を配置する。電極間の液体の濃度に応じてコンデンサの容量が変化するため、液体の濃度に応じてコンデンサに直列に接続された振動子の発振周波数が変化する。したがって、振動子の発振周波数を測定することにより液体濃度を測定することができる。

産業上の利用分野


本発明は、液体濃度センサに関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
振動子と、
前記振動子に直列に接続するコンデンサユニットとを備え、
前記コンデンサユニットは、第1コンデンサと、該第1コンデンサに並列に接続する第2コンデンサとを有し、
前記第2コンデンサの電極間に測定対象の液体が配置される液体濃度センサ。

【請求項2】
請求項1に記載の液体濃度センサにおいて、前記第2コンデンサは、前記電極間の距離が前記測定対象の液体のサイズに応じて調整して構成されていることを特徴とする液体濃度センサ。

【請求項3】
請求項1又は2に記載の液体濃度センサにおいて、前記振動子は、該振動子に印加する駆動電圧を変化させることで基本モードに加えてオーバートーンモードでも発振することが可能であることを特徴とする液体濃度センサ。

【請求項4】
請求項3に記載の液体濃度センサにおいて、該液体濃度センサは、前記振動子を基本モード及びオーバートーンモードで発振させて、それぞれのモードで発振周波数を測定することにより、前記測定対象の液体の濃度及び導電性を測定することができることを特徴とする液体濃度センサ。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2015222372thum.jpg
出願権利状態 公開
ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記「問合せ先」までお問い合わせください。


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close