TOP > 国内特許検索 > 磁気研磨装置及び磁気研磨方法

磁気研磨装置及び磁気研磨方法 UPDATE

国内特許コード P170014428
整理番号 S2016-0206-N0
掲載日 2017年7月13日
出願番号 特願2015-239787
公開番号 特開2017-104926
出願日 平成27年12月8日(2015.12.8)
公開日 平成29年6月15日(2017.6.15)
発明者
  • 鄒 艶華
出願人
  • 国立大学法人宇都宮大学
発明の名称 磁気研磨装置及び磁気研磨方法 UPDATE
発明の概要 【課題】平面や曲面等の面はもちろん、超微細孔の内面のように狭い空間を形成する面であっても磁気研磨法によって研磨できるようにすることである。
【解決手段】実施形態に係る磁気研磨装置は、第1の磁極、第2の磁極及び移動機構を備える。第1の磁極は、磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に第1の磁力を与えるための磁極である。第2の磁極は、被研磨物体を間に挟んで配置され、前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるための磁極である。移動機構は、前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させることによって前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行う。
【選択図】 図1
従来技術、競合技術の概要


従来、研磨法の1つとして磁気ブラシを用いた磁気研磨法が提案されている。磁気ブラシは、磁極に多数の磁性粒子を吸引させて構成されるブラシである。具体的には、磁気ブラシでは、磁力線に沿って繋がった磁性粒子がブラシの毛として機能する。そして、磁気ブラシの磁性粒子に研磨砥粒を付着させ、被研磨対象物に磁気ブラシを接触させた状態で磁気ブラシを回転又は移動させることによって、被研磨対象物の表面研磨を行うことができる。



また、磁極の上にトレーを設置し、磁性粒子、砥粒及び研磨液を混合して成る磁気研磨スラリをトレー内に入れた構成を有する磁気ブラシも提案されている(例えば、非特許文献1乃至5参照)。この磁気ブラシでは、磁気研磨スラリが流動性を有するため、磁気ブラシを柔軟に変形させることが可能である。更に、磁気ブラシを構成する磁極の極性を変動させることによって、磁気研磨スラリを磁力線の向きの変化方向に繰返し往復移動させる技術も提案されている。この変動磁場を与える磁気ブラシによれば、静磁場を与える磁気ブラシに比べて、被研磨対象物に接触させた後に元の状態に復帰させ易いという効果が得られる。



一方、磁性砥粒を磁極に吸引させることによってブラシの毛自体を砥粒で構成した磁気ブラシも提案されている(例えば、特許文献1参照)。



また、樹脂パイプの内面を研磨するような場合には、磁気ブラシを挿入することが困難となる。そこで、磁気研磨スラリを樹脂パイプの内側に配置する一方、樹脂パイプの外部に磁石を配置することによって磁気研磨を行う方法も提案されている(例えば、特許文献2参照)。

産業上の利用分野


本発明の実施形態は、磁気研磨装置及び磁気研磨方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に第1の磁力を与えるための第1の磁極と、
被研磨物体を間に挟んで配置され、前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるための第2の磁極と、
前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させることによって前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行う移動機構と、
を備える磁気研磨装置。

【請求項2】
前記移動機構は、前記第1の磁極を回転させる回転機構を有し、前記第1の磁極を回転させることによって前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を前記第1の磁極の回転方向に回転させるように構成される請求項1記載の磁気研磨装置。

【請求項3】
前記第2の磁極は変動しない極性を有し、
前記移動機構は、前記第1の磁極の極性をN極とS極との間で変動させる制御回路を有し、前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を、前記第1の磁極と前記第2の磁極との間に形成される磁力線に沿う方向に移動させるように構成される請求項1又は2記載の磁気研磨装置。

【請求項4】
前記第1の磁極に、磁性を有さない前記砥粒、前記磁性粒子及び研磨液を混合して成るスラリ又は前記磁性砥粒及び研磨液を混合して成るスラリを入れるための容器を設け、
前記移動機構は、前記スラリを前記被研磨物体に対して相対的に移動させるように構成される請求項1乃至3のいずれか1項に記載の磁気研磨装置。

【請求項5】
前記第2の磁極側の形状が凸面となっている柱状の磁極であって、中心軸上を通らない溝及び中心軸上でない位置に形成される凹みの少なくとも一方を有する柱状の磁極を前記第1の磁極として用いた請求項1乃至4のいずれか1項に記載の磁気研磨装置。

【請求項6】
磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に第1の磁極から第1の磁力を与える一方、被研磨物体を間に挟んで配置された第2の磁極から前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるステップと、
前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させ、前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行うことによって被研磨品を製造するステップと、
を有する磁気研磨方法。

【請求項7】
前記被研磨物体に形成される孔の内面、スリットの内面又は溝の内面を研磨することによって前記被研磨品を製造する請求項6記載の磁気研磨方法。

【請求項8】
前記第1の磁極の極性をN極とS極との間で繰返し交互に変動させることによって前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を前記孔、前記スリット又は前記溝の内部に導くようにした請求項7記載の磁気研磨方法。

【請求項9】
モリブテン合金又はタングステン合金から成る前記被研磨物体を研磨することによって前記被研磨品を製造する請求項6乃至8のいずれか1項に記載の磁気研磨方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
  • 3C158AA07
  • 3C158AA09
  • 3C158CA04
  • 3C158CB04
  • 3C158CB07
  • 3C158DA02
  • 3C158DA11
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2015239787thum.jpg
出願権利状態 公開
ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記までご連絡ください


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close