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再生研磨材の製造方法、及び再生研磨材の製造装置 UPDATE コモンズ

国内特許コード P170014489
掲載日 2017年8月8日
出願番号 特願2015-247512
公開番号 特開2017-109291
出願日 平成27年12月18日(2015.12.18)
公開日 平成29年6月22日(2017.6.22)
発明者
  • 佐藤 理夫
  • 阿部 和三
出願人
  • 国立大学法人福島大学
発明の名称 再生研磨材の製造方法、及び再生研磨材の製造装置 UPDATE コモンズ
発明の概要 【課題】研磨材として使用しやすい再生研磨材を形成することができる再生研磨材の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の再生研磨材の製造方法は、使用済み研磨材の水分散液にガスを溶解させる工程と、この水分散液を凍結させて凝固体を作製する工程と、この凝固体を融解させる工程とを含む。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要


従来、光学レンズ、ガラス基板等のガラス製品、シリコンウェハ等の電子部品等を研磨するために、セリウム、ランタン等の希土類を含む研磨材が用いられる。この研磨材を用いてガラス製品等を研磨する場合、研磨材の水分散液を含浸させた研磨パッドをガラス製品等に当てて擦ることにより、ガラス製品等を研磨することができる。未使用の研磨材は、適度な粒径を有する二次粒子が含まれ、そのために研磨能力を備えているが、研磨材を使用する過程で二次粒子が砕けることにより、径の小さな一次粒子が形成され、研磨能力が低下する。一般的に、研磨能力が低下した使用済み研磨材は廃棄されるが、近年の希土類の価格の高騰から、使用済み研磨材を再利用する方法が求められている。



例えば、特許文献1には、使用済みのガラス研磨材の水分散液を回収した後、この水分散液を凍結させて、氷の結晶の間にガラス研磨材の二次粒子を形成し、この氷を融解させて、ガラス研磨材の二次粒子を含む水分散液を形成し、更にこの水分散液から水を除去することにより、再使用可能なガラス研磨材(再生研磨材)を得ることが開示されている。



特許文献2には、ガラス研磨材の使用済みスラリーを冷媒中に滴下して凍結させた後、この凍結したスラリーと冷媒とを静置し融解させて、冷媒、水、ガラス研磨材がそれぞれ含まれる三層に分離し、更にガラス研磨材の層から冷媒及び水を除去することにより、再生研磨材を得ることが開示されている。



特許文献1、2の方法では、使用済み研磨材の水分散液を凍結する過程で、研磨材粒子の二次粒子が形成される。この二次粒子は、使用済み研磨材中の一次粒子よりも径が大きい。再生研磨材にこの二次粒子が含まれることにより、再生研磨材をガラス製品の研磨に使用することができる。

産業上の利用分野


本発明は、一般には、再生研磨材の製造方法及びその製造装置に関し、詳細には、使用済み研磨材から再生研磨材を製造する方法及びその製造装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
使用済み研磨材の水分散液にガスを溶解させる工程と、
前記水分散液を凍結させて凝固体を作製する工程と、
前記凝固体を融解させる工程とを含む、
再生研磨材の製造方法。

【請求項2】
前記使用済み研磨材が希土類元素の酸化物を含む、
請求項1に記載の再生研磨材の製造方法。

【請求項3】
前記希土類元素の酸化物が酸化セリウムを含む、
請求項2に記載の再生研磨材の製造方法。

【請求項4】
前記ガスが酸性ガスを含む、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の再生研磨材の製造方法。

【請求項5】
前記酸性ガスが二酸化炭素を含む、
請求項4に記載の再生研磨材の製造方法。

【請求項6】
前記水分散液を冷媒に滴下することにより、前記水分散液を凍結させて前記凝固体を作製する、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の再生研磨材の製造方法。

【請求項7】
前記冷媒に前記ガスを導入し、この冷媒に前記水分散液を滴下して、前記水分散液に前記ガスを溶解させる、
請求項6に記載の再生研磨材の製造方法。

【請求項8】
前記冷媒に前記ガスをバブリングすることにより、前記冷媒に前記ガスを導入する、
請求項7に記載再生研磨材の製造方法。

【請求項9】
前記水分散液に前記ガスをバブリングすることにより、前記水分散液に前記ガスを溶解させる、
請求項1乃至8のいずれか一項に記載の再生研磨材の製造方法。

【請求項10】
使用済み研磨材の水分散液に、ガスを導入するガス導入部と、
前記水分散液を凍結させて凝固体を作製する凍結部と、
前記凝固体を融解させる融解部とを含む、
再生研磨材の製造装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2015247512thum.jpg
出願権利状態 公開


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