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薄状部材のハンドリング方法およびその装置 コモンズ 実績あり

国内特許コード P020000141
整理番号 Y99-P230
掲載日 2003年5月27日
出願番号 特願2000-007850
公開番号 特開2001-198759
登録番号 特許第4476404号
出願日 平成12年1月17日(2000.1.17)
公開日 平成13年7月24日(2001.7.24)
登録日 平成22年3月19日(2010.3.19)
発明者
  • 樋口 俊郎
  • 傅 寶▲莱▼
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 薄状部材のハンドリング方法およびその装置 コモンズ 実績あり
発明の概要 【課題】 薄板やフィルムなどの薄板部材を傾斜した状態で静電気力を用いて補助的に支持し、ほぼ非接触な状態でそれらをハンドリングすることができる薄状部材のハンドリング方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 薄状部材のハンドリング方法において、前記薄状部材3を吸引支持するための静電気力により、薄状部材3の下部が固定部7に支持され、前記薄状部材3を傾斜した状態にして保持する。
従来技術、競合技術の概要


従来、この分野の技術としては、例えば、特開平9-322564号公報に開示されているものがあり、静電気力を用いて板状物体を浮上し、完全に非接触な状態でハンドリングすることができる。

産業上の利用分野


本発明は、薄板やフィルムなどの薄状部材のハンドリング方法およびその装置に係り、静電気力を用いて薄状部材を傾斜させた状態で補助的に支持し、それらをほとんど接触しない状態でハンドリングする技術に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
薄状部材のハンドリング方法において、
前記薄状部材を吸引支持するための静電気力により、前記薄状部材の下部が固定部に支持され、前記薄状部材は傾斜した状態にして保持する第1のハンドリング装置に対向するように、前記薄状部材を吸引支持するための静電気力により、固定部に前記薄状部材の下部が支持され、前記薄状部材は傾斜した状態にして保持する第2のハンドリング装置を配置し、前記第1のハンドリング装置の保持から前記第2のハンドリング装置の保持へ移行可能にすることを特徴とする薄状部材のハンドリング方法。

【請求項2】
請求項記載の薄状部材のハンドリング方法において、前記第1のハンドリング装置の保持から前記第2のハンドリング装置の保持へ移行後に、前記薄状部材を裏返しに配置することを特徴とする薄状部材のハンドリング方法。

【請求項3】
薄状部材のハンドリング装置において、
前記薄状部材を吸引支持するための静電気力を発生させる電極を有する固定子と、該固定子の電極部分に配置され、該電極部分の面と前記薄状部材とのギャップを検出する位置センサと、前記固定子の一部に配置される機構的支持部材とを備え、前記薄状部材を傾斜させた状態で該薄状部材の下部の主要部を外した局所を固定部により補助的に支持する2個の薄状部材のハンドリング装置を備え、一方に保持された前記薄状部材を他方に移行させる手段を具備することを特徴とする薄状部材のハンドリング装置。

【請求項4】
薄状部材のハンドリング装置において、
前記薄状部材を吸引支持するための静電気力を発生させる電極を有する固定子と、該固定子の電極部分に配置され、該電極部分の面と前記薄状部材とのギャップを検出する位置センサと、前記固定子の一部に配置される機構的支持部材とを備え、前記薄状部材を立てた状態で該薄状部材の下部の主要部を外した局所を固定部により補助的に支持する2個の薄状部材のハンドリング装置を対向させて配置することを特徴とする薄状部材のハンドリング装置。

【請求項5】
請求項記載の薄状部材のハンドリング装置において、前記固定部材を移動させて、前記薄状部材を搬送する手段を具備することを特徴とする薄状部材のハンドリング装置。

【請求項6】
請求項記載の薄状部材のハンドリング装置において、前記対向させた2個の薄状部材のハンドリング装置によって区切られる空間において前記薄状部材の搬送時に乾燥処理を行なうことを特徴とする薄状部材のハンドリング装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2000007850thum.jpg
出願権利状態 登録
ライセンス状況 通常実施権[L01-10]
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