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超微小押し込み試験装置 新技術説明会

国内特許コード P020000167
整理番号 Y99-P312
掲載日 2003年5月27日
出願番号 特願2000-034225
公開番号 特開2001-221730
登録番号 特許第4008176号
出願日 平成12年2月10日(2000.2.10)
公開日 平成13年8月17日(2001.8.17)
登録日 平成19年9月7日(2007.9.7)
発明者
  • 長島 伸夫
  • 宮原 健介
  • 松岡 三郎
出願人
  • 独立行政法人物質・材料研究機構
発明の名称 超微小押し込み試験装置 新技術説明会
発明の概要 本発明は、超微小領域における材料表面の硬度測定機能および高精度の表面観察機能を併せ持つ試験装置を提供するものである。
このために、ダイヤモンド圧子を試料表面に押し込み、押し込み力および押し込み深さの測定による硬度測定機能と、ダイヤモンド圧子またはシリコン探針の変位量から試料表面の形状を取得する分子間力顕微鏡機能と、光学受像装置による試料表面観察を行なう光学顕微鏡機能とを複合して併せ持つ。
産業上の利用分野
この出願の発明は、超微小押し込み試験装置に関するものである。さらに詳しくは、この発明は、機能材料における微細組織に関する力学特性を評価するための微小硬度測定や材料表面観察を可能とし、機能材料の評価や、その開発の指針の確立に有用である、新しい超微小押し込み試験装置に関するものである。
特許請求の範囲 【請求項1】 探針と圧子が配設された両持ちレバーを具備するレバー台と、レバー台を3軸方向に移動するための移動機構と、圧子を試料に押し込むための押し込み機構と、探針および圧子の変位測定用の変位計と、探針および圧子の位置決定および試料表面の観察に用いられる光学受像装置とを具備する超微小押し込み試験装置であって、圧子を試料表面に押し込み、押し込み力および押し込み深さの測定による硬度測定機能と、探針の変位量から試料表面の形状を取得する原子間力顕微鏡機能と、光学受像装置による試料表面観察を行なう光学顕微鏡機能とを複合して併せ持つことを特徴とする超微小押し込み試験装置。
【請求項2】 レバー台中央部に両持ちレバー設置用の穴が開口されている請求項1の超微小押し込み試験装置。
【請求項3】 レバー台側面に両持ちレバー設置用の溝が掘られてている請求項1または2の超微小押し込み試験装置。
【請求項4】 両持ちレバーの一部に圧子を備え、また、両持ちレバーの一部に位置合わせ用の目印が付加されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかの超微小押し込み試験装置。
【請求項5】 レバー台には複数の探針が備えられている請求項1ないし4のいずれかの超微小押し込み試験装置。
【請求項6】 レバー台には複数の両持ちレバーが備えられている請求項1ないし5のいずれかの超微小押し込み試験装置。
【請求項7】 探針がシリコンもしくはシリコン類似の鋭利な形状に加工しやすい物質であって、圧子がダイヤモンドもしくはダイヤモンド類似の硬質物質である請求項1ないし6のいずれかの超微小押し込み試験装置。
【請求項8】 マイクロメータオーダー精度でのレバー台の移動をリモートコントロールする機構を有する請求項1ないし7のいずれかの超微小押し込み試験装置。
産業区分
  • 試験、検査
  • 測定
国際特許分類(IPC)
Fターム
出願権利状態 権利存続中
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