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散乱ターゲット保持機構及び電子スピン分析器

国内特許コード P020000330
整理番号 P1999-059-JP01
掲載日 2003年5月27日
出願番号 特願2000-130224
公開番号 特開2001-311702
登録番号 特許第3383842号
出願日 平成12年4月28日(2000.4.28)
公開日 平成13年11月9日(2001.11.9)
登録日 平成14年12月27日(2002.12.27)
発明者
  • 武笠 幸一
  • 池田 正幸
  • 末岡 和久
  • 武藤 征一
  • 上遠野 久夫
  • 上田 映介
出願人
  • 学校法人北海道大学
発明の名称 散乱ターゲット保持機構及び電子スピン分析器
発明の概要 散乱ターゲットの交換を容易にする新規な散乱ターゲット保持機構を提供するとともに、この散乱ターゲット保持機構を具え、散乱ターゲットの交換を容易にした電子スピン分析器を提供するものである。 電子線スピン分析器を構成する散乱ターゲット5 を加速電極2 -1 及び電極支持部3 で形成される空間の外側から、導電性材料からなる散乱ターゲット保持部材6 で保持する。そして、散乱ターゲット保持部材は絶縁性材料からなる絶縁支持部材で絶縁支持する。さらに、この絶縁支持部材の外周部を覆うように形成されたガイド部材8 に沿って、散乱ターゲット5 、散乱ターゲット支持部材6 、及び絶縁支持部材7 を一体的に着脱できるようにする。本発明によれば、電子スピン分析器における散乱ターゲットの交換を極めて容易に行うことができる。したがって、散乱ターゲット交換に伴う作業性及び作業時間を極めて効率化することができ、分析器自体の定量性の評価をも極めて容易に行うことができる。
従来技術、競合技術の概要 20 ~60KeV に加速した電子のスピン分析を行う小型電子スピン分析器では、分析器の空間的制約のため散乱ターゲットの交換が容易でない。そのため、従来の電子スピン分析器では、真空槽を含めた分析装置本体から分析器部分を取り外して分解しないとターゲットの交換ができなかった。また、分析性能は散乱ターゲットの膜厚に依存する。さらに、分析性能のター
ゲット膜厚依存性を測定することは、分析器の定量性を評価するために有効であるが、従来の技術では散乱ターゲットの交換が容易にできず、高い定量性を確保することができなかった。
産業上の利用分野 この発明は、電子材料分析、磁気材料材料表面分析などにおける高効率の電子スピン分析装置に好適に用いることのできる、散乱ターゲット保持機構及びその電子スピン分析器に関するものである。
特許請求の範囲 【請求項1】 散乱ターゲットを保持する導電性材料からなる散乱ターゲット保持部と、この散乱ターゲット保持部を絶縁支持する絶縁性材料からなる絶縁支持部と、前記散乱ターゲットを設置する所定の箇所に、前記散乱ターゲット保持部と前記絶縁支持部とを案内するガイド部とを具えることを特徴とする、散乱ターゲット保持機構。

【請求項2】 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部に形成された開口部内に設けられた散乱ターゲットとを具え、前記電子線発生装置から出射された電子線を前記加速電極部に設けられた開口部から前記加速電極部内に導入するとともに、前記散乱ターゲットに衝突させ、これによって散乱された前記電子線を前記散乱電子検出部によって検出することにより前記電子線のスピン分析を行うようにした電子スピン分析器において、
前記散乱ターゲットを前記加速電極部及び前記電極支持部で形成される空間の外側から保持するようにした導電性材料からなる散乱ターゲット保持部材と、この散乱ターゲット支持部材を絶縁支持するようにした絶縁性材料からなる絶縁支持部材と、この絶縁支持部材の外周部を覆うように形成されるとともに前記散乱ターゲット、前記散乱ターゲット支持部材、及び前記絶縁支持部材を一体的に着脱できるようにしたガイド部材とを具えることを特徴とする、電子スピン分析器。
産業区分
  • 試験、検査
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 権利存続中
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