TOP > 国内特許検索 > 電子スピン分析器

電子スピン分析器

国内特許コード P020000333
整理番号 P1999-060-JP01
掲載日 2003年5月27日
出願番号 特願2000-133700
公開番号 特開2001-319611
登録番号 特許第3757263号
出願日 平成12年5月2日(2000.5.2)
公開日 平成13年11月16日(2001.11.16)
登録日 平成18年1月13日(2006.1.13)
発明者
  • 武笠 幸一
  • 池田 正幸
  • 末岡 和久
  • 武藤 征一
  • 上遠野 久夫
  • 上田 映介
出願人
  • 国立大学法人 北海道大学
発明の名称 電子スピン分析器
発明の概要 装置を小型化した場合においても、散乱電子を効率よく検出することのできる電子スピン分析器を提供するものである。 内側加速電極3 の内側導入口15 の開口径を外側加速電極2 の外側導入口14 よりも、好ましくは開口角で0 .1 ~5 度大きくする。そして、内側加速電極3 の内側開口部7 の開口径を外側加速電極2 の外側開口部8 の開口径よりも、好ましくは開口角で0 .1 ~5 度大きくする。また、散乱電子検出部4 に補正電極9を設ける。さらに、散乱電子検出部4 を散乱電子部分が最大となる、入射電子線方向に対して100 ~140 度の位置に配置する。本発明によれば、散乱電子の検出感度を劣化させることなく、電子スピン分析器を小型化することができる。
従来技術、競合技術の概要
従来の電子スピン分析器においては、散乱した電子線を効率よく検出すべく、装置全体が大型する傾向があった。例えば、Mottスピン分析器などにおいては、散乱角95~145度の広い範囲に亘って散乱電子を検出する必要があることから、散乱電子検出器を大きくしなければならなかった。
装置の大型化は、設置場所の確保及び操作性の問題から、望ましいものではなく、電子スピン分析器においても小型化の要請が高まっている。しかしながら、従来の電子スピン分析器をそのままの形態で縮尺させたのみでは、散乱電子を効率よく検出することができないという問題があった。
産業上の利用分野
本発明は、電子スピン分析器に関し、さらに詳しくは電子材料分析、磁気材料材料表面分析などにおける高効率の電子スピン分析装置に好適に用いることのできる、電子スピン分析器に関する。
特許請求の範囲 【請求項1】 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記内側加速電極に設けられた内側導入口の開口径を、前記電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記外側加速電極に設けられた外側導入口の開口径よりも大きくしたことを特徴とする、電子スピン分析器。
【請求項2】 前記内側導入口の開口径が、前記外側導入口の開口径よりも開口角で0.1~5度大きいことを特徴とする、請求項1に記載の電子スピン分析器。
【請求項3】 前記内側導入口及び前記外側導入口の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項1又は2に記載の電子スピン分析器。
【請求項4】 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、前記散乱ターゲットによって散乱された電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記内側加速電極に設けられた内側開口部の開口径を、前記散乱ターゲットによって散乱された前記電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記外側加速電極に設けられた外側開口部の開口径よりも大きくしたことを特徴とする、電子スピン分析器。
【請求項5】 前記内側開口部の開口径が、前記外側開口部の開口径よりも開口角で0.1~5度大きいことを特徴とする、請求項4に記載の電子スピン分析器。
【請求項6】 前記内側開口部及び前記外側開口部の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項4又は5に記載の電子スピン分析器。
【請求項7】 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記散乱電子検出部に補正電極を設けたことを特徴とする、電子スピン分析器。
【請求項8】 前記補正電極は、電界レンズからなることを特徴とする、請求項7に記載の電子スピン分析器。
【請求項9】 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記散乱電子検出器を、電子線の入射方向に対して100~140度の位置に配置したことを特徴とする、電子スピン分析器。
【請求項10】 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記内側加速電極に設けられた内側導入口の開口径を、前記電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記外側加速電極に設けられた外側導入口の開口径よりも大きくし、前記散乱ターゲットによって散乱された電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記内側加速電極に設けられた内側開口部の開口径を、前記散乱ターゲットによって散乱された前記電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記外側加速電極に設けられた外側開口部の開口径よりも大きくし、前記散乱電子検出部に補正電極を設けるとともに、前記散乱電子検出器を電子線の入射方向に対して100~140度の位置に配置したことを特徴とする、電子スピン分析器。
【請求項11】 前記内側導入口の開口径が、前記外側導入口の開口径よりも開口角で0.1~5度大きいことを特徴とする、請求項10に記載の電子スピン分析器。
【請求項12】 前記内側導入口及び前記外側導入口の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項10又は11に記載の電子スピン分析器。
【請求項13】 前記内側開口部の開口径が、前記外側開口部の開口径よりも開口角で0.1~5度大きいことを特徴とする、請求項10~12のいずれか一に記載の電子スピン分析器。
【請求項14】 前記内側開口部及び前記外側開口部の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項10~13のいずれか一に記載の電子スピン分析器。
【請求項15】 前記補正電極は、電界レンズからなることを特徴とする、請求項10~14のいずれか一に記載の電子スピン分析器。
産業区分
  • 電子管
  • 試験、検査
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

04184_01SUM.gif
出願権利状態 権利存続中
ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記までご連絡ください


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close