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磁気記録媒体の製造方法 コモンズ

国内特許コード P03A000454
整理番号 U2001P039
掲載日 2003年8月28日
出願番号 特願2001-192638
公開番号 特開2003-006853
登録番号 特許第3507892号
出願日 平成13年6月26日(2001.6.26)
公開日 平成15年1月10日(2003.1.10)
登録日 平成16年1月9日(2004.1.9)
発明者
  • 島田 寛
  • 北上 修
  • 岡本 聡
  • 桜井 伴明
出願人
  • 学校法人東北大学
発明の名称 磁気記録媒体の製造方法 コモンズ
発明の概要 高密度化の要求に答えることのできる新規な磁気記録媒体を提供する。Co、Fe、及びNiから選ばれる少なくとも一つの遷移元素を含む第1の薄膜と、Pt及びPdの少なくとも一方の白金属元素を含む第2の薄膜とを積層させて積層体を形成する。次いで、前記積層体を所定温度に加熱して、前記第1の薄膜及び前記第2の薄膜間で相互拡散を生じさせ、前記少なくとも一つの遷移元素と前記少なくとも一方の白金属元素とを合金化させる。
従来技術、競合技術の概要 IT技術の発展に伴い、情報を大量に記録する技術の高密度化が切望されている。特に、ビット単価が安く、高信頼性かつ大容量記録が可能な磁気記録においては、高密度化を実現することのできる記録媒体の開発が強く要求されている。現在、この要求に対応することのできる媒体材料としてはCo-Cr系合金を例示することができる。このCo-Cr系合金は、Coが主成分であるCo-Crの強磁性体微粒子が、Co含有量の少ない非磁性のCo-Cr中に析出した構造を有する。したがって、1ビットの記録単位が多くの微粒子によって構成され、記録分解能の向上とビット間の境界が明確になることに起因した記録ノイズの低減が実現されている。しかしながら、上述した高密度記録の要求に答えるためには、高い分解能と低記録ノイズとを保持したまま、Co-Cr系強磁性微粒子の粒子サイズをさらに小さくする必要がある。また、各微粒子間の磁気的結合を完全に遮断しなければならない。現状のCo-Cr系強磁性微粒子においては、その粒子サイズが10~20nm程度になると、熱振動エネルギーが各微粒子の有する磁気エネルギーよりも大きくなってしまい、その強磁性特性を消失してしまう(超常磁性現象)という問題があった。したがって、Co-Cr系合金に代わる新たな高磁気異方性材料を見出し、これを微粒子化する数多くの試みがなされてきた。
産業上の利用分野 磁気記録媒体の製造方法
特許請求の範囲 【請求項1】 Fe微粒子を含む遷移元素グラニュラー薄膜と、Pt微粒子を含む白金族元素グラニュラー薄膜とを積層させて積層体を形成する工程と、前記積層体を形成する際、又は前記積層体を形成した後に、前記積層体を所定温度に加熱して、前記遷移元素グラニュラー薄膜及び白金族元素グラニュラー薄膜間で相互拡散を生じさせ、Fe及びPtを合金化させることを特徴とする、磁気記録媒体の製造方法。
【請求項2】 前記遷移元素グラニュラー薄膜の厚さが1.0~2.5nmであり、前記白金族元素グラニュラー薄膜の厚さが1.0~2.5nmであることを特徴とする、請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項3】 前記遷移元素グラニュラー薄膜中における前記Fe微粒子の含有量が50~80体積%であり、前記白金族元素グラニュラー薄膜中における前記Pt微粒子の含有量が50~80体積%であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項4】 前記遷移元素グラニュラー薄膜中における前記Fe微粒子の平均直径が1.0nmであり、前記白金族元素グラニュラー薄膜中における前記Pt微粒子の平均直径が1.0nmであることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項5】 前記積層体の加熱温度が350~400℃であることを特徴とする、請求項1~4のいずれか一に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項6】 Fe微粒子を含む遷移元素グラニュラー薄膜と、Pt薄膜とを積層させて積層体を形成する工程と、前記積層体を形成する際、又は前記積層体を形成した後に、前記積層体を所定温度に加熱して、前記遷移元素グラニュラー薄膜及び前記Pt薄膜間で相互拡散を生じさせ、Fe及びPtを合金化させることを特徴とする、磁気記録媒体の製造方法。
【請求項7】 前記遷移元素グラニュラー薄膜の厚さが2.0nmであり、前記Pt薄膜の厚さが1.0nmであることを特徴とする、請求項6に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項8】 前記遷移元素グラニュラー薄膜中における前記Fe微粒子の含有量が50体積%であることを特徴とする、請求項6又は7に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項9】 前記遷移元素グラニュラー薄膜中における前記Fe微粒子の平均直径が5nmであることを特徴とする、請求項6~8のいずれか一に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項10】 前記積層体の加熱温度が350~400℃であることを特徴とする、請求項6~9のいずれか一に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項11】 Fe薄膜と、Pt微粒子を含む白金族元素グラニュラー薄膜とを積層させて積層体を形成する工程と、前記積層体を形成する際、又は前記積層体を形成した後に、前記積層体を所定温度に加熱して、前記Fe薄膜及び前記白金族元素グラニュラー薄膜間で相互拡散を生じさせ、Fe及びPtを合金化させることを特徴とする、磁気記録媒体の製造方法。
【請求項12】 前記Fe薄膜の厚さが1.0~2.5nmであり、前記白金族元素グラニュラー薄膜の厚さが1.0~5nmであることを特徴とする、請求項11に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項13】 前記白金族元素グラニュラー薄膜中における前記Pt微粒子の含有量が50体積%であることを特徴とする、請求項11又は12に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項14】 前記白金族元素グラニュラー薄膜中における前記Pt微粒子の平均直径が5nmであることを特徴とする、請求項11~13のいずれか一に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項15】 前記積層体の加熱温度が350~400℃であることを特徴とする、請求項22~25のいずれか一に記載の磁気記録媒体の製造方法。
産業区分
  • 電子応用機器
  • 磁性材料
国際特許分類(IPC)
Fターム
出願権利状態 権利存続中
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