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共振器長可変レーザー共振器とパルスレーザー光源装置 コモンズ 新技術説明会

国内特許コード P03A001945
整理番号 A041P69
掲載日 2003年10月1日
出願番号 特願2000-365878
公開番号 特開2002-171015
登録番号 特許第3540741号
出願日 平成12年11月30日(2000.11.30)
公開日 平成14年6月14日(2002.6.14)
登録日 平成16年4月2日(2004.4.2)
発明者
  • 桂川 眞幸
  • 白田 耕藏
  • 梁 佳旗
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 共振器長可変レーザー共振器とパルスレーザー光源装置 コモンズ 新技術説明会
発明の概要 【課題】 共振器全体のサイズを大きく変更することなく共振器長の延長を実現し、機械的安定性が高く、高強度レーザーを扱う場合にも放電防止用の真空を必要とせず、さらに共振器長の延長に用いられる1セットの光学部品に対して複数の共振器長を選択することが可能であり、さらには、共振器長の再調整が容易なレーザー共振器を提供する。
【解決手段】 レーザーゲイン媒質(1)から射出されたレーザー光を共振させる共振器であって、共振器が備える反射鏡の一部が、対向する2枚の曲率付き多重折り返し高反射率鏡(4)であり、曲率付き多重折り返し高反射率鏡(4)に対するレーザー光の入射角の調整により、曲率付き多重折り返し高反射率鏡(4)におけるレーザー光の折り返し回数が変更されて、共振器長が任意に設定可能となっている。
従来技術、競合技術の概要



【従来の技術とその課題】

従来、レーザー共振器において、レーザー共振器内部の横モードサイズ(共振器にマッチしたTEMのガウスビーム強度がピーク強度の1/e2になる直径)を大きく変更することなく共振器長を延長する方法として、図6に示されるような一定の共振器長で設計された外部共振器のレーザー光路上の位置Aに、図7で示したような凸レンズを2枚組み合わせてなるイメージリレーのシステムを組み込み、図8で示されるような構成をとる方法が広く知られている。





この方法においては、レーザー共振器全体のサイズが大きくなり、また、それに伴い機械的に不安定となることが問題となっていた。また、ピーク強度の高いレーザーを扱う場合には、凸レンズ系の焦点位置におけるレーザー光による放電が発生し、これを防ぐためには凸レンズ系を真空中に封じ込める必要がある。さらに、ひとつのイメージリレーの光学部品に対して、ひとつの共振器長しか選択できないこと、また、共振器長を変更する際の調整に、手間と時間がかかることが、問題点として挙げられている。





そこで、この出願の発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされたものであり、共振器全体のサイズを大きく変更することなく共振器長の延長を実現し、機械的安定性が高く、高強度レーザーを扱う場合にも放電防止用の真空を必要とせず、さらに共振器長の延長に用いられる1セットの光学部品に対して複数の共振器長を選択することが可能であり、さらには、共振器長の再調整が容易なレーザー共振器を提供することを課題としている。さらにまた、このようなレーザー共振器を備えたパルスレーザー光源装置を提供する。

産業上の利用分野



【発明の属する技術分野】

この出願の発明は、共振器長可変レーザー共振器に関するものである。さらに詳しくは、この出願の発明は、簡便にレーザー共振器長を延長することが可能な小型共振器長可変レーザー共振器とこれを備えたパルスレーザー光源装置に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】レーザーゲイン媒質から射出されたレーザー光を共振させる共振器であって、共振器が備える反射鏡の一部が、対向する2枚の曲率付き多重折り返し高反射率鏡であり、曲率付き多重折り返し高反射率鏡に対するレーザー光の入射角の調整により、曲率付き多重折り返し高反射率鏡におけるレーザー光の折り返し回数が変更されて、共振器長が任意に設定可能となっていることを特徴とする共振器長可変レーザー共振器。
【請求項2】レーザーゲイン媒質より射出されるレーザー光を反射する第1の反射鏡と、第1の反射鏡により反射されたレーザー光を曲率付き多重折り返し高反射率鏡へ入射させる第2の反射鏡と、曲率付き多重折り返し高反射率鏡より射出されたレーザー光を反射する第3の反射鏡と、第3の反射鏡により反射されたレーザー光を第1の反射鏡へ入射させる第4の反射鏡とを備え、第2の反射鏡の設置角度の変更により、曲率付き多重折り返し高反射率鏡へのレーザー光の入射角が調整され、曲率付き多重折り返し高反射率鏡におけるレーザー光の折り返し回数が変更されて、共振器長が任意に設定可能となっていることを特徴とする共振器長可変レーザー共振器。
【請求項3】請求項1または2の共振器長可変レーザー共振器を備えることを特徴とするパルスレーザー光源装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 登録
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST 量子効果等の物理現象 領域
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