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結晶成長観察装置 新技術説明会

国内特許コード P03A003050
掲載日 2004年2月24日
出願番号 特願平09-340413
公開番号 特開平11-171692
登録番号 特許第3188913号
出願日 平成9年12月10日(1997.12.10)
公開日 平成11年6月29日(1999.6.29)
登録日 平成13年5月18日(2001.5.18)
発明者
  • 塚本 史郎
  • 小口 信行
出願人
  • 独立行政法人物質・材料研究機構
発明の名称 結晶成長観察装置 新技術説明会
発明の概要 原子レベルでの結晶成長実空間観察を可能とする。分子線エピタキシィ(MBE)装置(1)内に走査型トンネル顕微鏡(STM)(2)を一体化させた装置であって、MBE装置内のSTM本体を真空状態で移動させるSTM移動機構(3)、MBE装置内の基板加熱機構との間に広いクリアランスを持つ基板ホルダー(11)を備え、STM本体(2)は防熱保護シールド(21)により高蒸気圧雰囲気や基板加熱に伴う放射熱から守られている。
産業上の利用分野 結晶成長観察装置と観察方法に関するものであり、さらに詳しくは、結晶成長をその場観察することのできる結晶成長観察装置と観察方法
特許請求の範囲 【請求項1】 基板加熱機構を持つ基板ホルダーが配置された分子線エピタキシィ装置に走査型トンネル顕微鏡が一体化された装置であって、分子線エピタキシィ装置の真空容器内において、探針を持つ走査型トンネル顕微鏡本体を前記基板ホルダーに対して対向させて前後動させる移動機構を備えているとともに、前記走査型トンネル顕微鏡本体は、前記真空容器内の蒸気圧雰囲気や放射熱に対して防熱保護シールドされており、かつ、前記基板ホルダーは、走査型トンネル顕微鏡による観察時にはその本体の当接によってのみ支持されることを特徴とする結晶成長観察装置。
【請求項2】 基板ホルダーは、クリアランスを介して基板加熱機構ケーシングに連結され、走査型トンネル顕微鏡による観察時には、連結状態が解決されて基板ホルダーが走査型トンネル顕微鏡本体によってのみ支持される請求項1の結晶成長観察装置。
【請求項3】 基板加熱機構ケーシングに設けたピンにより、基板ホルダーは切欠係止部において連結されている請求項2の結晶成長観察装置。
産業区分
  • 処理操作
  • 固体素子
  • 試験、検査
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 権利存続中
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