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熱電対型温度計の校正方法及び校正装置

国内特許コード P04A006880
整理番号 KN000442
掲載日 2005年3月18日
出願番号 特願平11-003348
公開番号 特開2000-205973
登録番号 特許第2990276号
出願日 平成11年1月8日(1999.1.8)
公開日 平成12年7月28日(2000.7.28)
登録日 平成11年10月15日(1999.10.15)
発明者
  • 渡邊 光男
  • 長谷川 敏
出願人
  • 独立行政法人宇宙航空研究開発機構
発明の名称 熱電対型温度計の校正方法及び校正装置
発明の概要 【課題】 極低温液体の温度測定用の熱電対を液体酸素、液体窒素などの実液を用いて高精度で且つ短時間に校正する。
【解決手段】 真空断熱された容器1内部に極低温液体を充填して、該極低温液体に熱電対31を挿入し、極低温液体に該極低温液体と同種のガスをガス吹き出し管16より吹き出して、極低温液体を撹拌して液内にガスを溶け込むことにより液温度を上昇させて、任意の液温度と該液温度に対応した飽和蒸気圧を創出し、該飽和蒸気圧に対応した極低温液体温度と熱電対の起電力とから校正データを得て、熱電対を校正する。
従来技術、競合技術の概要 従来、極低温の実液(たとえば、液体酸素、液体窒素など)を用いて熱電対を校正する方法として、大気開放状態の実液に熱電対を挿入し、温度と起電力の測定を行い、さらに0℃基準温度装置を用いて0℃状態の温度を測定してこの二点を直線で結ぶ方法が一般的に行われている。しかしながら、この従来の校正方法では流動している極低温液体の温度を正確に測定することは困難を伴うため、正確な校正ができない問題点がある。例えば、測定点である極低温液体の大気開放状態では空気に触れている液上部とその下部では温度差が生じ、また熱電対の起電力の直線性にも固体差が見られる。さらに、経年劣化による起電力の変化等も考えられ、これらが極低温の温度測定に関する精度管理の障害となっている。
産業上の利用分野 本発明は、極低温液体の温度等を測定する熱電対等の熱電対型温度計(以下、単に「熱電対」という)を校正する方法及び装置に関する。
特許請求の範囲 【請求項1】 断熱された容器内部に極低温液体を充填して、該極低温液体に熱電対型温度計を挿入し、前記容器に充填された極低温液体に該極低温液体と同種のガスを注入制御することによって任意の液温度と該液温度に対応した飽和蒸気圧を創出し、該飽和蒸気圧に対応した極低温液体温度と熱電対型温度計の起電力とから校正データを得ることを特徴とする熱電対型温度計の校正方法。
【請求項2】 前記極低温液体に注入される前記ガスの注入量と前記容器内からのガス放出量を制御して、任意の液温度と該液温度に対応した飽和蒸気圧を得る手順を繰り返すことにより、0気圧から任意圧力までの飽和蒸気圧を得て数多くの校正データを得るようにした請求項1記載の熱電対型温度計の校正方法。
【請求項3】 断熱された容器に、該容器内部に連通する液注入管、ガス放出管、及び容器内に充填された極低温液体内にガスを注入するガス注入管、容器内の気層部圧力を計測する圧力変換器、及び熱電対型温度計を挿入固定する熱電対取付口部を配置し、前記各管にそれぞれその流量を制御する弁が設けられ、且つ前記熱電対型温度計の出力と前記圧力変換器の出力とから前記熱電対型温度計の校正データを得る演算処理装置を備えてなり、極低温液体により熱電対型温度計を校正するようにしたことを特徴とする熱電対型温度計の校正装置。
【請求項4】 前記ガス注入管の端部に容器内に充填された極低温液体内でガスを吹き出すガス吹き出し管が設けられている請求項3記載の熱電対型温度計の校正装置。
産業区分
  • 測定
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 権利存続中
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