TOP > 国内特許検索 > 回転体の光学式すきまセンサ

回転体の光学式すきまセンサ

国内特許コード P04A006948
整理番号 KN000422
掲載日 2005年3月18日
出願番号 特願平09-354024
公開番号 特開平11-173818
登録番号 特許第3035606号
出願日 平成9年12月9日(1997.12.9)
公開日 平成11年7月2日(1999.7.2)
登録日 平成12年2月25日(2000.2.25)
発明者
  • 松田 幸雄
出願人
  • 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構
発明の名称 回転体の光学式すきまセンサ
発明の概要 【課題】 反射面の反射率の変化に影響されない精度の良い回転体のすきまセンサを提供すると共に、装置の小型化と複雑な信号処理を要せず、コストの低減をも図ろうとするものである。
【解決手段】 回転体の円周方向のすきま寸法変化を検出する光学測定系と、回転体の反射率を検出する光学測定系とを備え、後者の出力を用いて前者の出力から反射率のパラメータを消去演算する手段により、正確なすきま寸法計測を可能にするものであって、更に2つの光学系を同軸位置に配置すると共に、光ビームの投光受光経路をレンズを介して広がらないようにする。
従来技術、競合技術の概要


回転体と固定壁面間等の円周方向すきま寸法を計測する従来のすきまセンサは、測定原理として電磁気的現象を利用したものが主流であるが、この原理によるものでは非金属の回転体の計測は不可能である。-方、光学的手段によって回転体のすきま寸法を計測する方法も知られており、この光学センサ方式によるものであれば、金属に限らず非金属の回転体であっても原理的に計測は可能である。この光学的に回転体のすきま寸法を計測する方法としては、図4に示されたように光ビームを回転体にあて、その反射光が受光センサにより受光される位置がすきま寸法により変化することを利用した位置検出方式のものと、図5に示されたようにビームに絞らない投射光を回転体にあて、反射光の光量が距離すなわちすきま寸法により変化することを利用した減衰光量検出方式によるものがある。

産業上の利用分野


この発明は、金属あるいは非金属の回転体のすきま寸法を、非接触に、光学的手段によって計測する技術に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
回転体の円周方向のすきま寸法変化を測定する光学測定系には光ファイババンドルを用い光学路が軸心位置となるように、回転体の反射率を測定する光学測定系は光ビームを光学軸に対し傾斜をもって照射するようにし、後者光学系の出力を用いて前者光学系の出力から反射率のパラメータを消去演算する手段を備えたことを特徴とする回転体の光学式すきまセンサ。

【請求項2】
回転体の反射率を測定する光学測定系は光源からの光をビームスプリッタを介して検出する第1の受光手段と、回転体からの反射光を検出する第2の受光手段とを有し、第1の受光素子の検出値を用い第2の受光素子の検出値から光源の変動成分を除去して反射率を算出し、これを用いて寸法変化を測定する光学測定系の検出値に含まれる反射率成分を消去演算する手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の回転体の光学式すきまセンサ。

【請求項3】
寸法変化を測定する光学測定系と反射率を測定する光学測定系の両光学系端部と前記回転体との間に、両光学系用の集光レンズを同軸状に配置したことを特徴とする請求項1または2に記載の回転体の光学式すきまセンサ。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP1997354024thum.jpg
出願権利状態 登録
上記の特許・技術に関心のある方は、下記問い合わせ先にご相談下さい。


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close